GPC-150A精确磨抛控制仪简称磨抛控制仪,主要用来控制被研磨样品表面的平面度和平行度,使磨抛后的样品具有高的尺寸精度和质量优良的表面状态。磨抛控制仪采用质量优良的不锈钢材料制成,外形美观,制造工艺精湛,主要适用于UNIPOL-1502研磨抛光机上,是工件进行磨抛时不可缺少的精密磨抛器具,尤其适用于晶圆样品、表面平行度和平面度要求高的大的圆片状样品的研磨。GPC-150A精确磨抛控制仪专用载样块用螺纹与控制仪进行连接,试样装卡方式为真空吸附,并配有数显厚度测量仪,可实时监测样品减少的厚度,承载样件直径最大6英寸,且具有工艺重复性高的优点。可严格控制被磨样品表面的平行度和平面度,控制准确度高。研磨过程中可搭配数显测厚仪使用,随时观测样品磨削量,尤其适用于表面平行度和平面度及样品厚度要求高的晶圆样品研磨使用。
产品名称 | GPC-150A精确磨抛控制仪 | |
产品型号 | GPC-150A | |
安装条件 | 1.本设备要求在温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 2.水:配水源。 3.电:无。 4.气:真空泵(0— -0.1MPa)。 5.通风装置:需要。 | |
主要参数 | 1、载样盘直径:Ø150mm 2、载样盘轴向行程:12mm 3、数显表精度:0.001mm 4、载样盘可调加载压力:0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程:1g-5000g 6、样品装卡方式:真空吸附 7、承载样件尺寸:直径≤150mm | |
标准配件 | 1、真空泵 2、过滤瓶 3、底座 4、玻璃片 |
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企业名称
沈阳科晶自动化设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
210132000055868
成立日期
2003-06-11
注册资本
150
经营范围
切割、研磨、抛光、机床自动化设备及耗材生产与销售;经营本企业自产产品及技术的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅料及技术的进出口业务(但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。)
沈阳科晶自动化设备有限公司
公司地址
沈阳市浑南区浑南中路35-27号国际产业园 沈阳科晶自动化设备有限公司
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