核心参数
产地类别: 国产
GSL-1800X-ZF6钙钛矿镀膜机是一种利用电阻加热使膜材汽化蒸发后凝结在基片上成膜的加热镀膜方法,该方法结构简单、实用,使用可靠,适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。
适用范围:钙钛矿材料、二维材料、光伏太阳能电池的器件制备等
·钙钛矿镀膜机主要由金属源蒸发沉积室,真空排气系统,真空测量系统,有机蒸发源,无机蒸发源,样品台系统,电控系统,配气系统等部分组成
·方便操作,制成的薄膜纯度高、质量好,膜厚可以准确的控制,成膜速率快,效率高,用掩膜可以获得清晰的图形,薄膜的生长比较单纯。
·恢复工作真空快,大气至5×10-4Pa≤15分钟。
产品名称 | GSL-1800X-ZF6钙钛矿镀膜机 | |
产品型号 | GSL-1800X-ZF6 | |
主要参数 | 1、极限真空度:5×10-5Pa,保压12小时 2、膜厚均匀性≥95%;重复性≥95%; 3、不锈钢蒸发基片托1个,最大可容纳一块4英寸样品 4、蒸发源距离可调范围:260mm-320mm 5、蒸发水冷电极2组(6个),组成4个蒸发舟,最大输出功率3Kw(电压 10V;电流300A)。 6、提供2台有机电源,2台无机电源,最多同时蒸发4种材料。 7、方型真空室尺寸500mm×500mm×450mm(长×宽×高) | |
序号 | 名称 | 数量 | 图片链接 |
1 | 有机材料蒸发电源 | 2套 | - |
2 | 无机材料蒸发电源 | 2套 | - |
3 | 膜厚监测仪系统 | 1套 | - |
4 | 分子泵 | 1台 | - |
5 | 冷水机 | 1台 | - |
6 | 聚酯PU管(Ø8、6、4mm) | 10m | - |
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企业名称
沈阳科晶自动化设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
210132000055868
成立日期
2003-06-11
注册资本
150
经营范围
切割、研磨、抛光、机床自动化设备及耗材生产与销售;经营本企业自产产品及技术的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅料及技术的进出口业务(但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。)
沈阳科晶自动化设备有限公司
公司地址
沈阳市浑南区浑南中路35-27号国际产业园 沈阳科晶自动化设备有限公司
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