核心参数
产地类别: 进口
仪器介绍:
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化。
技术参数:
·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
主要特点:
将激发和探测头引入生产设备,可实现:
· 动态模式:实时监测膜厚变化
· 光谱模式:监测薄膜的界面和组分
HORIBA椭偏仪In-situ series的工作原理介绍
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椭圆偏振光谱仪的标准应用
Ellipsometry is a very versatile optical technique that has applications in many different fields, from the micro electronics and semiconductor industries (for characterizing oxides or photoresists on silicon wafers, for ex ample) to biology. This very sensitive measurement technique provides unequalled capabilities for thin film metrology, and has the advantage that it is non-destructive as it uses polarized light to probe the dielectr properties of a sample.
其他
2014/06/09
企业名称
HORIBA (中国)
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
信用代码
91310115765992179P
成立日期
2004-08-26
注册资本
美元1180.0000万
经营范围
副量仪器、临家检验分析仪器及相美零备件、设新试制的批发销售、朝金代理(推卖除外),以及上述产品的维售。技术咨询等其他相关配套业务;上述货物及技术的进出口业务;(专及配转许可证管理,专项规定管营的商品技理国家有关规定办理);国际贸品、转口贸易、区内企业间的贸昌及区内置易代理区内京学中品工及餐品咨询服务区内商品展承;区内以各种副企仪器以及园疗器械为主的产品的仓储、办教业务及相美产品的维修,技术咨询,售品服务;制设仪器设备的经营性租赁;企业管理咨询,商务信息咨询;财务管理咨询;计算机系统集成、开发。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
HORIBA (中国)
公司地址
上海市天山西路1068号联强国际广场A栋1层D单元
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