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【安捷伦真空】实漏 虚漏 外漏 内漏 别傻傻分不清楚
2022/03/14 13:17
阅读：220
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方案摘要：
产品配置单：
VacIon超高真空离子泵组
型号： VacIon
产地： 意大利
品牌： 安捷伦
¥25.94万
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CombiTSP 钛升华复合离子泵组
型号： CombiTSP
产地： 意大利
品牌： 安捷伦
¥19.86万
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方案详情：
实漏 虚漏 外漏 内漏 别傻傻分不清楚
定期的泄漏检测很重要
大的泄漏通常会非常明显：真空腔体压力未按正常速度下降，或者极限压力明显高于正常值。然而，有些时候，由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载，小的泄漏很难被发现，这时，即使真空计的读数仍然在正常的水平，泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体（如氧气），这些气体有时候会对工艺过程（比如某些镀膜工艺）带来非常严重的影响。所以，无论真空系统的压力是否有明显下降，都应该定期进行泄漏检测。
实漏和虚漏
真实的泄漏可以通过检漏找到，放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决，而虚漏一旦产生，很难被发现，需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺。
下面两种方式，可以用来判断真空系统是否存在真实的泄漏。
压降曲线分析
压降和压升测试不会定位泄漏，而只会指示所有气源（实际泄漏和放气或虚漏）的叠加效应。如果怀疑有真实的泄漏，下一步则通常要使用氦气检漏仪进行检漏。
外漏和内漏
我们平时所讲的泄漏一般是指外漏，即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏；而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间，通过阀门隔离的两段真空管道之间，或真空腔室与管道之间，发生了泄漏。
外漏可以方便的通过检漏仪直接找到，而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断，然后拆掉可疑的阀门一侧的管道，然后再进行检漏（或者在可疑阀门的一侧连接检漏仪，向另一侧的管道内充入氦气进行检漏）。
动态泄漏
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