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赛默飞色谱与质谱
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解决方案
半导体材料检测应用文集
应用领域
材料检测样品
半导体材料检测项目
表面清洗化学品；晶圆制程化学品；晶圆基材和溅射靶材赛默飞世尔科技作为科学服务行业的领导者，凭借其离子色谱和电感耦合等离子体质谱和辉光放电质谱的技术
实力，不断开发各类半导体材料中痕量无机阴离子、阳离子和金属离子的检测方案，为半导体集成电路制造行
业提供多种解决方案，在晶圆表面清洗化学品、晶圆制程化学品、晶圆基材和靶材等各方面，全方位满足半导
体生产对相关材料的质量要求，从完整制程出发提供全面可靠的分析技术，促进行业整体质量水平的提高，帮
助半导体客户建立起完整质量控制体系，促进中国半导体行业与国际水平接轨。
共4台
ICPOES/ICPMS多孔吸附材料中多元素含量检测
应用领域
材料检测样品
其他检测项目
含量分析采用硝酸、氢氟酸、高氯酸、硫酸对吸附材料以及催化剂进
行处理，按照优化后的仪器参数条件，采用标准曲线法的测
量方式，对吸附材料中杂质元素及催化剂活性中心组分Co,
Mo, Ce三个主量元素进行测定，同时考察其测定稳定性，保
证了测量结果的可靠性。
共1台
iCAP PRO Series ICP-OES测定玻璃中氧化物化学成分的含量
应用领域
材料检测样品
玻璃检测项目
理化分析本文对常见的钠钙玻璃及硼硅酸盐玻璃中氧化物化学成分进
行分析，针对不同的化学成分分别采用微波消解和湿法消解
两种不同的前处理方法，通过ICPOES利用标准曲线法进行
检测，按照优化后的参数条件及元素分析谱线对标准物质进
行考察。
共1台
