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牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统

品牌：牛津仪器

产地：英国

型号： ALD OpAL

样本：下载

报价： ¥10万 - 50万

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牛津仪器原子层沉积ALD OpAL的工作原理介绍原子层沉积ALD OpAL的使用方法?
牛津仪器ALD OpAL多少钱一台?原子层沉积ALD OpAL可以检测什么？
原子层沉积ALD OpAL使用的注意事项？牛津仪器ALD OpAL的说明书有吗？
牛津仪器原子层沉积ALD OpAL的操作规程有吗？牛津仪器原子层沉积ALD OpAL报价含票含运吗？
牛津仪器ALD OpAL有现货吗？

核心参数

产地类别：进口

衬底尺寸： 200mm

工艺温度： 200℃

前驱体数： Up to 4

重量： --

尺寸(W x H x D)： --

均匀性： --

产品介绍

OpAL系统是一种带有等离子体选项的直开式热原子层沉积（ALD）设备。它可通过清晰而易行的途径升级为等离子体 ALD，这样便可在一个结构紧凑的设备上实现等离子体和热ALD。

紧凑型直开式热原子层沉积（ALD）设备，带有等离子选项
适用于小尺寸至200mm的晶圆片
蒸汽吸取或鼓泡四种液体或固体前驱体
实时检测选项，包括与ALD控制软件相联的光谱椭偏仪
ALD产品家族涵盖的系列设备可以满足学术界、企业研发和小规模生产的多种需求
实时监测选项，包括与ALD控制软件相联的光谱椭偏仪
OpAL系统可通过清晰而易行的途径升级为等离子体，这样便可在一个结构紧凑的设备上实现等离子体和热ALD

牛津仪器有大量的工艺储备，并且还在不断开发新的工艺。我们为所有的ALD设备提供终身免费的、延续不断的工艺支持，我们还将为您提供关于开发新材料的建议，同时继续与您共享包括新工艺配方在内的新的ALD工艺进展。

特征

可配备带有样品传送入口的氮气吹扫手套箱 - 适用于干燥环境
易于拆卸的内腔室 - 减少腔室清洗时间
机柜可安装在抽气管路上并附带氮气吹扫 - 以确保健康和安全的承诺
气动起重装置 - 用于安全打开腔室
可配备抽气罩或氮气吹扫手套箱 - 以确保健康和安全的承诺

应用

纳米电子
高K栅氧化物
存储电容电介质
用于Cu互连的高深宽比扩散隔层
用于OLED和聚合物的无针孔钝化层
用于晶体硅太阳能电池的钝化
用于微流体和MEM的高保形涂层
纳米多孔结构的涂层
生物MEMS
燃料电池

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牛津仪器原子层沉积ALD OpAL的工作原理介绍

原子层沉积ALD OpAL的使用方法?

牛津仪器ALD OpAL多少钱一台?

原子层沉积ALD OpAL可以检测什么？

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牛津仪器原子层沉积ALD OpAL的操作规程有吗？

牛津仪器原子层沉积ALD OpAL报价含票含运吗？

牛津仪器ALD OpAL有现货吗？

相关资料

牛津仪器PlasmaPro100 ALE 原子层刻蚀-ALE-Flyer_2015-LR牛津仪器PlasmaPro100 ALE 原子层刻蚀-ALE-Flyer_2015-LR

•Etch rates 2 to 7Å/cycle •Demonstrated results in a-Si, Si, SiO2, MoS2 layer etching •Fast recipe control down to 10ms •ALD-style gas dose delivery using “ALD valves” with 10ms open-close response •Ultra low power operation •Ability to etch in ALE or normal etch mode

452KB

2018/08/08

工商信息

企业名称

牛津仪器科技（上海）有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

310000400824735

成立日期

2017-03-29

注册资本

经营范围

精密仪器和设备的技术开发、技术服务、技术转让和技术咨询,精密仪器和设备的批发、进出口,佣金代理(拍卖除外),并提供维修服务和相关配套服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

联系方式

牛津仪器科技（上海）有限公司

公司地址

上海市徐汇区虹漕路461号虹钦园60号楼1楼

客服电话

400-860-2711

牛津仪器科技（上海）有限公司为您提供牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统，牛津仪器ALD OpAL产地为英国，属于进口原子层沉积设备，除了牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供牛津仪器Etch刻蚀工艺、牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备、牛津仪器PlasmaPro100 ALE原子层刻蚀,牛津仪器客服电话400-860-2711，售前、售后均可联系。

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主营产品：

核磁共振(NMR) CCD相机/影像CCD 高光谱仪/高光谱成像仪扫描电镜（SEM）原子层沉积设备电子背散射衍射系统（EBSD） X射线能谱仪(EDS)

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