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牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统

品牌: 牛津仪器
产地: 英国
型号: ALD OpAL
样本: 下载
报价: ¥10万 - 50万
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核心参数

产地类别: 进口

衬底尺寸: 200mm

工艺温度: 200℃

前驱体数: Up to 4

重量: --

尺寸(W x H x D): --

均匀性: --

产品介绍

OpAL系统是一种带有等离子体选项的直开式热原子层沉积(ALD)设备。 它可通过清晰而易行的途径升级为等离子体 ALD,这样便可在一个结构紧凑的设备上实现等离子体和热ALD。

  • 紧凑型直开式热原子层沉积(ALD)设备,带有等离子选项

  • 适用于小尺寸至200mm的晶圆片

  • 蒸汽吸取或鼓泡四种液体或固体前驱体

  • 实时检测选项,包括与ALD控制软件相联的光谱椭偏仪

  • ALD产品家族涵盖的系列设备可以满足学术界、企业研发和小规模生产的多种需求

  • 实时监测选项,包括与ALD控制软件相联的光谱椭偏仪

  • OpAL系统可通过清晰而易行的途径升级为等离子体,这样便可在一个结构紧凑的设备上实现等离子体和热ALD

牛津仪器有大量的工艺储备,并且还在不断开发新的工艺。我们为所有的ALD设备提供终身免费的、延续不断的工艺支持,我们还将为您提供关于开发新材料的建议,同时继续与您共享包括新工艺配方在内的新的ALD工艺进展。

特征

  • 可配备带有样品传送入口的氮气吹扫手套箱 - 适用于干燥环境

  • 易于拆卸的内腔室 - 减少腔室清洗时间

  • 机柜可安装在抽气管路上并附带氮气吹扫 - 以确保健康和安全的承诺

  • 气动起重装置 - 用于安全打开腔室

  • 可配备抽气罩或氮气吹扫手套箱 - 以确保健康和安全的承诺

应用

  • 纳米电子

  • 高K栅氧化物

  • 存储电容电介质

  • 用于Cu互连的高深宽比扩散隔层

  • 用于OLED和聚合物的无针孔钝化层

  • 用于晶体硅太阳能电池的钝化

  • 用于微流体和MEM的高保形涂层

  • 纳米多孔结构的涂层

  • 生物MEMS

  • 燃料电池

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牛津仪器原子层沉积ALD OpAL的工作原理介绍

原子层沉积ALD OpAL的使用方法?

牛津仪器ALD OpAL多少钱一台?

原子层沉积ALD OpAL可以检测什么?

原子层沉积ALD OpAL使用的注意事项?

牛津仪器ALD OpAL的说明书有吗?

牛津仪器原子层沉积ALD OpAL的操作规程有吗?

牛津仪器原子层沉积ALD OpAL报价含票含运吗?

牛津仪器ALD OpAL有现货吗?

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半导体

2019/07/31

工商信息

企业名称

牛津仪器科技(上海)有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

310000400824735

成立日期

2017-03-29

注册资本

50

经营范围

精密仪器和设备的技术开发、技术服务、技术转让和技术咨询,精密仪器和设备的批发、进出口,佣金代理(拍卖除外),并提供维修服务和相关配套服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

联系方式
牛津仪器科技(上海)有限公司为您提供牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统,牛津仪器ALD OpAL产地为英国,属于进口原子层沉积设备,除了牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供牛津仪器Etch刻蚀工艺、牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备、牛津仪器PlasmaPro100 ALE原子层刻蚀,牛津仪器客服电话400-860-2711,售前、售后均可联系。
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