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牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备

产品详情

牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备

牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备
参考报价:
 面议
型号:
 PlasmaPro100 Estrelas
品牌:
 牛津仪器
产地:
 英国
样本:  【下载】 信息完整度:  
典型用户:  0
产地类别:
 进口
价格区间:
 80万-100万
分享:
400-860-2711
仪器信息网认证,请放心拨打
产品简介

PlasmaPro 100 Estrelas 平台旨在提供深硅蚀刻(DSiE)领域的全方位的灵活性以满足微电子机械系统(MEMS)、 先进封装以及纳米技术市场的各种工艺要求。考虑到研究和生产的市场发展,PlasmaPro 100 Estrelas 提供了工艺灵活性。

  • 光滑侧壁工艺

  • 高刻蚀速率腔刻蚀

  • 高深宽比工艺

  • 锥形通孔刻蚀

  • 广泛的应用领域

  • 机械或静电压盘

  • 加热内衬          

  • 改善重复性

  • 延长了两次清洗间的平均时间间隔(MTBC)

PlasmaPro 100 Estrelas平台旨在确保覆盖MEMS,先进封装和纳米技术的广泛应用,从光滑侧壁工艺到高刻蚀速率腔刻蚀、高深宽比工艺和锥形通孔刻蚀,不需要更换腔室硬件就可以实现。

  • 硬件设计使同一腔室中可进行Bosch™和超低温刻蚀工艺,使得纳米和微米结构刻蚀均可实现

  • 兼容50mm至200mm的衬底 - 确保您只需一台系统,便具备从研发器件到量产的能力

  • 自动匹配 - 拥有工艺灵活性

  • 更高流量的质量流量计以及等离子发生器 - 自由基密度更高

  • 减小的腔体尺寸和高效率的泵 - 确保气体高速流通

  • 快速近距离耦合质量流量计 - 快速控制(初始为ALD而开发)




注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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