组成要素: 半导体激光器产品及设备
看了null的用户又看了
Nanofoot VIS机械视觉检测系统是生产环境中检测激光棒的专用工具。该系统以约50个激光棒/小时的检测速度检测近场(亚阈值)或出射面表面的任何可见缺陷。同时,我们从激光棒的overhang测量和smile测量也可得到精确的测量数据。
表面和近场检测,可检测直径低于1μm的微粒、裂缝和镀膜,显微镜拍摄到图片后自动进行软件分析。
overhang测量模式,通过激光二极管面和基板的聚焦得到激光棒的overhang测量值。
Smile测量,利用高分辨率低失真显微镜和增强的振动隔离系统以+ / - 0.2μm的精确度(95%的准确度)来测量激光棒的Smile测量,确保了测量的高精确度。
每天可检测超过300个激光棒。
吞吐量:0.5-2个待测器件/分钟,19-47组发射激光棒。
Smile测量,分辨率:100nm,重复性:+/-250nm
Overhang测量,分辨率:100nm,重复性:+/-1μm。
最多添加5台