组成要素： 半导体激光器产品及设备
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Nanofoot VIS机械视觉检测系统是生产环境中检测激光棒的专用工具。该系统以约50个激光棒/小时的检测速度检测近场（亚阈值）或出射面表面的任何可见缺陷。同时，我们从激光棒的overhang测量和smile测量也可得到精确的测量数据。
表面和近场检测，可检测直径低于1μm的微粒、裂缝和镀膜，显微镜拍摄到图片后自动进行软件分析。
overhang测量模式，通过激光二极管面和基板的聚焦得到激光棒的overhang测量值。
Smile测量，利用高分辨率低失真显微镜和增强的振动隔离系统以+ / - 0.2μm的精确度（95％的准确度）来测量激光棒的Smile测量，确保了测量的高精确度。
每天可检测超过300个激光棒。
吞吐量：0.5-2个待测器件/分钟，19-47组发射激光棒。
Smile测量，分辨率：100nm，重复性：+/-250nm
Overhang测量，分辨率：100nm，重复性：+/-1μm。
