Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计
INFICON 生产的Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计, BPG402-S,两
种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5x10-10 毫巴至大
气压(3.8x10-10 乇至大气压). 复合的技术降低了安装,设置和集成
的复杂性.在一个小型外壳内装有双敷涂钇的氧化铱灯丝的
BPG402-S 用于频繁与重复的工艺过程中测量基本压强. 带有在
机校准数据的敏感元件保证更换传感器的高度再现性.
优点
极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)
极好的重复性,过程压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%
皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁
双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
可选图形显示和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预
容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性
应 用
半导体工艺和输送室中的压强测量
工业镀膜
一般真空测量和控制,从低至超高真空范围
