中国电镜产业链系列走访第1站聚束科技：继续打磨高通量扫描电镜 保障盈利竞争力

秉承“国产科学仪器腾飞行动”宗旨，仪器信息网于 2018 年启动“国产科学仪器腾飞行动”之“创新 100”项目，通过筛选一批具备自主创新能力的中小仪器厂商，在企业发展的关键时期“帮一把”。五年以来，天时地利人和至，中国电镜产业迎来发展窗口期，国内电镜产业链企业们也纷纷抓住历史机遇，实现生机蓬勃的发展之势。2023 年迎来国产电镜的“全新时代”。

此背景下，“创新 100”项目组在2023年底走进13家中国电镜产业链代表性企业，邀请电镜专家联合走访，探寻中国电镜产业发展进展，为发展新阶段赋能，也为 2024 年即将在苏州举办的“第三届中国电镜产业化发展论坛”的内容筹备作前期调研。

交流现场

走访第1站，由北京大学分析测试中心电镜平台负责人鞠晶老师，仪器信息网材料物性组执行主编杨厉哲、营销服务中心经理韩永风、郭航等组成的走访项目组走进聚束科技(北京)有限公司（以下简称“聚束科技”）北京总部，聚束科技总经理李帅、销售总监朱悦等接待了走访一行人员。

——企业发展进展

聚束科技（北京）有限公司成立于2015年，总部位于北京市经济技术开发区，创始和核心技术团队曾在ASML-HMI从事半导体晶圆检测SEM开发，有十余年开发经验。公司是国内集研发、制造、销售及维护为一体的电子束类科学仪器综合服务商。公司自成立以来一直耕耘中国创造，拥有条件非常完善的电子光学研发生产平台，拥有诸多电镜自主知识产权（目前拥有国内外专利70余项，包括国外专利20余项），是国内掌握电镜领域核心科技的高科技公司。

2015年，聚束科技将半导体电镜技术引入科学仪器行业，研发出具有自主知识产权的SORRIL^TM镜筒。2017年，成功研发出具备多倍视频级高速SEM成像能力的单束高通量扫描电镜NavigatorSEM-100。2021年，推出全新机型NavigatorSEM-100plus。聚束科技聚焦单束高通量扫描电镜，通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，实现了高通量成像，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。

高通量（场发射）扫描电子显微镜NavigatorSEM-100

2018年，仪器信息网“创新100”项目第1站曾走访了聚束科技，五年来，聚束科技取得了稳定的发展。

2019年，聚束科技在BCEIA2019展会上公开发售首款以“高通量”定名的扫描电镜类别，并在面世以来获得业界广泛认可。相关产品先后荣获仪器信息网颁发2018年度中国科学仪器行业“优秀新产品”奖、2019年度“中国分析测试协会科学技术金奖（BCEIA）”、 2020年入围国际仪器行业“R&D 100”大奖评选、2021年度“CISILE 2021自主创新奖”、2021年度中国科学仪器行业“优秀新产品”奖、2021年度“朱良漪分析仪器创新奖”等。

——产品技术与市场应用

当前，商业化高通量扫描电镜主要通过两种技术路径，一是提高单束电子束成像速度，二是增加电子束数量。聚束科技聚焦于第一路径，在相对大电流下，实现单束SE+BSE成像速度100M像素/秒(10ns 每像素驻留时间)，双通道SE和BSE成像速度最高上限可达400 M像素/秒。相比多束技术路线，单束高通量具有普适性更强（两种成像模式）、性价比高、运行对样品量要求适中等优势，因此获得相对更广的应用场景。

企业参观

聚束科技单束高通量场发射扫描电镜采用直接电子探测器的技术方案，成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性，颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单，全自动一键换样，7*24小时无人值守运行，全面提升科研效率。

目前，聚束科技产品技术已应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表面分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。如在芯片分析应用中具有拍摄区域全、 刻线更细的优势；在生物和病理分析应用中具有连续切片制样方式、一次性载入SEM、样品可持续保存、随时重复拍摄等优势；在地质油气应用则利用先进显微镜技术与地质学、岩石物理学和石油工程相结合，实现跨尺度、高通量研究页岩气/油储层岩石的孔隙尺度微观结构；在高温合金材料中应用可全面统计分析工程材料样品的均匀性，实现高温合金样品宏观全貌与微观细节间的信息关联、统计不同析出相尺寸和位置分布图等。

——国产电镜发展观点

短期聚焦高通量场发射扫描电镜，保证盈利能力——李帅表示，聚束科技有常规扫描电镜产线计划，但短期将主要聚焦高通量场发射扫描电镜技术。当前，国产电镜呈“内卷”局面，尤其在常规扫描电镜领域，虽然整体在数量上取得一些成绩，但面临产业链尚未成熟、进口品牌的压力，产品利润较难保障。结合这样的现状和聚束科技的体量现状，公司将目前主要重点放在专注、打磨好已有的高通量场发射扫描电镜技术上，尤其投入在更能解决当下用户痛点的操作软件和交互体验上，加强在此领域的先发优势，进而保障企业的市场盈利能力。

我国电镜供应链有待进一步发展——目前，国产电镜利润难保，产品成本相比进口品牌降不下来，主要原因就是供应链不健全。虽然近年来，随着国产电镜的活跃发展，一些核心部件技术得到了显著发展，但针对场发射扫描电镜等稍微高端一些的产品，真空泵等核心部件依旧主要依赖国外供应。作为市场需求数量级较小的科学仪器，很难通过走量摊薄成本，如此，我国电镜产业竞争力的提升还有待供应链的快速发展。

合影留念

附1：2024年4月，“第三届中国电镜产业化发展论坛”将在苏州举办，现进入论坛内容筹备阶段，为更好解决产业痛点，切实助力产业发展，现向广大网友征集论坛内容建议，欢迎大家积极参与，建议被采用的网友或专家将获得论坛定向邀请函，邀请现场与电镜业界专家、企业精英共议行业发展！

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附2：2023年年底中国电镜产业链系列走访名单