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基于压电粘滑驱动的长行程滑动平台，搭配阿米精控自研的摩擦表面改性技术、独特的超高频多冲程驱动技术和整-亚步协同伺服技术，可实现百毫米运动范围的纳米级定位，承载能力强，无驱动噪声，适用于超分辨光学成像、大幅面微纳加工、半导体制造等领域。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
超长运动行程：百mm大行程范围
高分辨率：传感器分辨率为1.22nm
超高精度：闭环重复定位精度小于5nm
运动速度：可达10mm/s
高稳定性：保持力可达25N
高可靠性及模块化设计，摩擦单元可替换
超高真空兼容性（低至1x10 -8 Pa）
支持开环和闭环运动模式
应用领域：
超分辨光学成像
微纳加工
高精度架调节
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
规格参数：
型号 | NH-X-100A | NH-X-100B | NH-X-200A | NH-X-200B | NH-XY（定制） |
运动轴 | X轴 | X轴 | X轴 | X轴 | X轴、Y轴 |
传感器类型 | 光栅编码器 | 光栅编码器 | 光栅编码器 | 光栅编码器 | 光栅编码器 |
行程(mm) | 100 | 100 | 200 | 200 | 200 |
保持力（N） | 8 | 8 | 8 | 8 | 8 |
最大承载力（N） | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
尺寸（mm） | 180x90x40 | 180x90x40 | 310x90x40 | 310x90x40 | 310x310x40 |
重量 ( g) | 1600 | 1600 | 2289 | 2289 | |
速度（mm/s） | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
分辨率（nm） | 1.22 | 12.5 | 1.22 | 12.5 | 12 |
闭环重复定位精度（nm） | 5 | 50 | 5 | 50 | 50 |
材料 | 铝合金/钛合金 | ||||
真空度 (Pa) | 超真空兼容（5X10-9 ） | ||||
纳米
定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 48小时内
是否提供维保合同: 否
维修响应时间: 15天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 90天
核心零部支持时间: 1年
是否支持上门巡检: 否
是否提供预防性维护计划: 否
维修付款方式: 先付款后维修
基本维修资料公开: 维修图纸；技术参数；维修手册
无理由退换货: 不支持
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