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XY长行程纳米促动器基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术，具有纳米级重复定位精度，可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑，具有较高的保持力与长期的稳定性，能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点：
超长行程：10mm~数百mm
高分辨率：传感器分辨率为1.2nm
超高精度：重复定位精度小于5nm
运动速度：可达10mm/s
高稳定性：保持力可达8N
超高真空兼容性；
运动模式：支持开环与闭环
轻量化、结构紧凑，高可靠性
模块化设计，摩擦单元可替换
应用领域：
扫描电镜（SEM）样品操纵
主动光学
超分辨成像样品移动
大范围电子束直写（EBL）
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
规格参数：
型号 | NH-XY-16A | NH-XY-16B | NH-XY-36A | NH-XY-36B | NH-XY-36MS |
运动轴 | X轴、Y轴 | X轴、Y轴 | X轴、Y轴 | X轴、Y轴 | X轴、Y轴 |
传感器类型 | 光栅编码器 | 光栅编码器 | 光栅编码器 | 光栅编码器 | 光栅编码器 |
行程(mm) | 16 | 16 | 36 | 36 | 36 |
保持力（N） | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
最大承载力（N） | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
尺寸（mm） | 52x52x22.5 | 60x60x26.6 | 52x52x22.5 | 60x60x26.6 | 60x60x26.6 |
重量 ( g) | 150 | 160 | 150 | 160 | 160 |
速度（mm/s） | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
分辨率（nm） | 1.22 | 12.5 | 1.22 | 12.5 | 12 |
闭环重复定位精度（nm） | 5 | 50 | 5 | 50 | 50 |
材料 | 铝合金/钛合金 | ||||
真空度 (mBar) | 超真空兼容（5X10-9 ） | ||||
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 48小时内
是否提供维保合同: 否
维修响应时间: 15天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 90天
核心零部支持时间: 1年
是否支持上门巡检: 否
是否提供预防性维护计划: 否
维修付款方式: 先付款后维修
基本维修资料公开: 维修图纸；技术参数；维修手册
无理由退换货: 不支持
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