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技术特点：
超高定位精度
多轴高动态协同联动
无摩擦、零间隙、免装配
高刚度、高负载
紧凑型结构设计
轴间运动学解耦设计
多运动模式:定位/扫描
可实现正置、倒置的灵活应用
真空兼容性，温度使用范围广
应用领域：
扫描电子显微镜
同步辐射光源
显微操作
双光子聚合
规格参数：
型号 | NP-ST-XYZ-100 |
运动轴 | X，Y，Z |
行程（um） | 100/X轴，100/Y轴，50/Z轴 |
闭环分辨率（nm） | 0.35 |
传感器类型 | 电容式传感器 |
X/Y/Z向上的空载谐振频率（Hz） | 600/600/550 |
负载（g） | 200 |
工作温度范围（℃） | 0~80 |
材料 | 铝合金、钛合金 |
外形尺寸（mm） | 40x40x41 |
质量（g） | 150 |
半导体 2024-03-08
半导体 2024-03-08
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 48小时内
是否提供维保合同: 否
维修响应时间: 15天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 90天
核心零部支持时间: 1年
是否支持上门巡检: 否
是否提供预防性维护计划: 否
维修付款方式: 先付款后维修
基本维修资料公开: 维修图纸；技术参数；维修手册
无理由退换货: 不支持
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