¥250万 - 300万
Park 原子力
暂无样本
NX20
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亚洲
看了扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）的用户又看了
特点
低噪声XYZ位置传感器
高速Z轴扫描器，扫描范围达15μm
自动多点样品扫描
集成编码器的XY自动样品载台
扫描头滑动嵌入式设计
操作方便的样品台
用于高级扫描模式易插拔扩展槽
同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统
高速24位数字电子控制器
自动Z轴移动和聚焦系统
技术信息
引领用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。Park NX20，这款高精密的大型样品原子力显微镜，凭借着数据的准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。
全面多样的分析功能
Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度可为用户带来高分辨率数据，让用户能够更加专注于工作。与此同时，非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。
即便是刚接触原子显微镜的工程师也易于操作
Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。
为FA和研究实验室提供精准的形貌测量解决方案
样品侧壁三维结构测量
NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必需的。
对样品和基片进行表面光洁度测量
表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精准的失效分析和质量保证。
高分辨率电子扫描模式
QuickStep SCM
超快的扫描式电容显微镜
PinPoint AFM
无摩擦导电原子力显微镜
多种创新且创新的专利技术帮助顾客减少测试时间
CrN样品所做的针尖磨损实验
通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。
AFM测量
借助真正非接触模式，探针尖端在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。
低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌
没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌
超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。
使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。
在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。
没有前沿或后沿过冲现象
终身无需校准，减少设备维护成本
Park NX系列原子力显微镜 传统的原子力显微镜
参数
| 扫描器 | Z扫描器 | XY扫描器 | |
柔性引导高推动力扫描器 扫描范围: 15μm (可选30μm) 高度信号噪声等级: 30 pm （RMS,at 0.5kHz带宽） | 闭环控制的柔性引导XY扫描器 扫描范围: 100μm×100μm（可选50μm×50μm） | ||
| 驱动台 | Z位移台行程范围 | 聚焦样品台行程范围 | XY位移台行程范围 |
| 25mm(Motorized) | 15mm(Motorized) | 200mm×200mm | |
| 样品架 | 样品尺寸 | 样品重量 | |
| 基本配置开放空间 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm | < 500 g | ||
| 光学 | 10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率) 样品表面和悬臂的直观同轴影像 | 视野 | CCD |
| 840 × 630 µm (带10倍物镜) | 100万像素, 500万像素 (可选) | ||
| 软件 | SmartScan™ | XEI | |
AFM系统控制和数据采集的专用软件 智能模式的快速设置和简易成像 手动模式的高级使用和更精密的扫描控制 | AFM数据分析软件 | ||
| 电子 | 集成功能 | 信号处理 | 连接外部信号 |
4通道数字锁相放大器 数据Q控制 | ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning Maximum data size : 4096 x 4096 pixels | 20个嵌入式输入/输出端口 5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压 | |
| AFM模式（*可选项） | 标准成像 | 力测量 | 介电/压电性能 |
真正非接触式原子力显微镜 PinPoint™ 原子力显微镜 接触式原子力显微镜 横向力显微镜(LFM) 相位成像 轻敲式原子力显微镜 | 力-距离(F/d)光谱 力谱成像 | 静电力显微镜 (EFM) 动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC) 压电力显微镜 (PFM) 高压压电力显微镜* | |
| 机械性能 | 磁学性能* | 电性能 | |
力调制显微镜 (FMM) 纳米压痕* 纳米刻蚀* 高压纳米刻蚀* 纳米操纵* | 磁力显微镜 (MFM) 可调制磁力显微镜 | 导电原子力显微镜 (C-AFM)* IV 谱线* 扫描开尔文探针显微镜 (KPFM) 扫描电容显微镜 (SCM)* 扫描电阻显微镜 (SSRM)* 扫描隧道显微镜 (STM)* 光电流测绘 (PCM)* | |
| 化学性能* | |||
功能化探针的化学力显微镜 电化学显微镜 (EC-AFM) | |||
| 高级选项 | 温度稳定的隔音罩 | 集成编码器的自动载台 | 样品盘 |
创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡 NX20具有主动隔振功能。 | XY马达运动工作时分辨率为1 µm，重复率为2 µm。 Z马达运动的分辨率为0.1 µm，分辨率为1 µm。 | 用于电气测量的专用小样品架 用于固定晶圆的真空槽 | |
| 温度控制 | |||
温控台 1: -25℃ to +170℃ 温控台 2: Ambient to +250℃ 温控台 3: Ambient to +600℃ |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 7. 免费培训至用户能完全独立操作，我方随机提供用户操作及维修手册1份，使用户能
免费仪器保养: 3月1次
保内维修承诺: 2. 产品整机免费保修期为壹年（耗材除外），负责终身维修。
报修承诺: 在接到用户通知后立即响应。
Park 原子力扫描探针NX20的工作原理介绍
扫描探针NX20的使用方法?
Park 原子力NX20多少钱一台?
扫描探针NX20可以检测什么？
扫描探针NX20使用的注意事项？
Park 原子力NX20的说明书有吗？
Park 原子力扫描探针NX20的操作规程有吗？
Park 原子力扫描探针NX20报价含票含运吗？
Park 原子力NX20有现货吗？
