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便携组合式探针台产品介绍
探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。
便携型组合式探针台产品优势
结构紧凑，功能实用，超高性价比；
样品台XYZR四维调节，XYZ整体分辨率3um，360°旋转 粗调可锁紧；
满足1um以上电极/PAD实用；
兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转及微调升降；
漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）；
精密传动机构，线性移动，无回程差设计；
U型探针架，可以放置多个探针座；
整体尺寸小，方便携带，底部蜂窝隔振板，提高测试稳定性。
便携型组合式探针台通用参数
样品台行程 XY均为110mm/150mm | 样品台Z轴行程 10mm |
样品台位移精度 标配3um（可升级） | 背电极测试功能 可以引出背电极 |
真空吸附 进口无油真空泵7L/min | 样品台固定方式 环形真空吸附 |
探针座行程 XYZ均为13mm | 位移精度 标配10um,可升级（1um,3um,电动） |
漏电精度 10pA(同轴线缆)，100fA（三同轴线缆） | 安装方式 可调磁力吸附，真空吸附，螺丝固定安装 |
接口形式 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴TRB | 成像方式 电子显微镜/双目体式显微镜/金相显微镜/单筒金相显微镜/激光显微镜 |
放大倍数 7-200倍，（最大可升级成1000倍） | CCD像素 2000W高清 |
显微镜移动 XY行程25mm/50mm,分辨率3um | 显示器 12寸/24寸高清显示器，HDMI高清接口 |
实验附件及常规测试步骤： 光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。 测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。 应用领域： 半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。 谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。 |
产品货期: 14天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
电话支持响应时间: 24小时内
是否提供维保合同: 是
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 7天
是否提供免费应用支持: 是
维修付款方式: 先维修后付款
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