工艺与材料表征系统 TriboLab CMP
工艺与材料表征系统 TriboLab CMP

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布鲁克

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TriboLab CMP

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美洲

  • 白金
  • 第20年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产地类别: 进口

仪器种类: 多功能摩擦磨损试验机

仪器尺寸: 394mm(宽)x 610mm(深)x 775mm(高)

最大摩擦力: 200N

摩擦力分辨率: 10mN

最高温度: 1000℃

TriboLab CMP 利用其前身产品 (Bruker CP-4) 超过 20 年的 CMP 领域专业知识,为业界领先的 TriboLab 平台带来了一套完整的功能。基于本套设备产生的高精度和高可重复性使得在整个 CMP 流程中能够进行高效的鉴别、检查和连续功能测试。TriboLab CMP 是市场上唯一能够提供广泛的抛光压力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、声发射和表面温度测量的工艺开发工具,可准确、完整地描述 CMP 工艺和耗材。


用于 CMP 的小型研发规模专业系统

布鲁克的TriboLab CMP工艺和材料表征系统是专为晶圆抛光工艺而设计,是具有可靠、灵活和高效的台式设备。

  • 重现全尺寸晶圆抛光工艺条件,无需在生产设备上停机

  • 提供无与伦比的测量可重复性和细节检测

  • 允许在小样品上进行测试,比全晶圆测试节省大量成本

板载诊断系统可以更好地了解抛光过程

  • 比市场上任何其他系统提供更多的瞬态抛光过程的参数

  • 从接触抛光盘开始直至整个测试过程都能收集数据

  • 通过更完整、更详细的数据实现早期流程开发决策


具有灵活的样品类型、尺寸和安装配置

  • 抛光任何平面材料,几乎能使用任何修正盘,任何抛光液,和任何抛光垫

  • 轻松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圆

  • 可同时安装多个样品,测试更灵活


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售后服务承诺

产品货期: 180天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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布鲁克摩擦磨损试验TriboLab CMP的工作原理介绍

摩擦磨损试验TriboLab CMP的使用方法?

布鲁克TriboLab CMP多少钱一台?

摩擦磨损试验TriboLab CMP可以检测什么?

摩擦磨损试验TriboLab CMP使用的注意事项?

布鲁克TriboLab CMP的说明书有吗?

布鲁克摩擦磨损试验TriboLab CMP的操作规程有吗?

布鲁克摩擦磨损试验TriboLab CMP报价含票含运吗?

布鲁克TriboLab CMP有现货吗?

工艺与材料表征系统 TriboLab CMP信息由布鲁克纳米表面仪器部(Bruker Nano Surfaces)为您提供,如您想了解更多关于工艺与材料表征系统 TriboLab CMP报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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