产地类别: 进口
在线X射线荧光膜厚测量仪
厂家:k-Space Associates, Inc.
型号:kSA XRF
技术介绍
对于膜层厚度太薄的金属薄膜和介电薄膜,光学方法测量其厚度显得不是很可靠。kSA XRF 系统的推出主要就是为了解决该问题,它可以在线测量许多不同材料基底(例如:玻璃和太阳能电池组件)上的薄膜厚度。
设备详情
配备保护性定制框架外壳,放置X射线源和探测器。
该设备桥接了输送线,以便于设备安装和工厂用户对系统的访问。
当 X 射线源正在使用时,会有警示灯闪烁提示。
配备面板的前/后边缘光电检测器,用于触发设备自动启停。
柜式控制器提供数据处理及存储功能。
配备小型灯塔用于指示检测情况。
产品优势
某些薄的介电薄膜,光学方法难以测量其厚度,如低于100nm厚度薄膜;在这种情况下,kSA XRF可以很好地测量。
可在多种基板上测量金属薄膜厚度。
实时数据采集,检测薄膜厚度缺陷并进行在线反馈。
软件功能可定制,用户可以依据特定要求设置。
检测过程中可对质量控制进行验证,以确保涂层厚度在公差范围内。
工厂集成功能:使工厂用户能够将计量整合到现有系统(工厂警报、PLC、电子邮件警报等)中。
操作便捷,几乎不需要额外设置,只需操作员定期进行设备校准。
工作原理
该系统由一个带有高压发生器的 X 射线管和一个 X 射线探测器系统组成。
其 X 射线检测系统组合了固态探测器、放大器、脉冲高度分析仪和多通道分析仪。
光谱仪能量校准后,系统自动识别 X 射线光谱峰值,并收集峰值强度以进行进一步处理。
该工具可根据客户的薄膜配方和测量需求测量对应的原子种类。
软件功能
使用专有的 k-Space 软件测量,分析和存储数据。
可与现有质量控制系统对接通讯。
利用光电检测器的触发器启动和停止数据采集。
专为典型的玻璃和太阳能电池板输送速度而设计。
完全自动化,能够与工厂自动化通信对接。
报警信号可便捷的自定义配置。
单个检测头可以放置在面板宽度上的任何位置,并且可选配使用多个检测头。
厚度测量范围为 0~500 nm±1 nm,灵敏度和测量不确定度取决于被测元素。
软件截图
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 3人次技术培训。
免费仪器保养: 3个月1次
保内维修承诺: 免费更好失效硬件,提供免费的技术支持和服务。
报修承诺: 24小时到达客户现场。
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