钨灯丝扫描电镜

一、      日本原装进口

日立公司具有优秀的设计理念、高质量的加工基础和严格的质量管理体系，日立产品一向以高品质、高稳定性、低故障率和简易的维护而著称。这就意味着选择了日立材料表面微结构与成分分析系统，就是选择了精良的材质、放心的品质、低廉的维护成本。FlexSEM1000II是2019年1月份日立高新公司推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝材料表面微结构与成分分析系统。

      二、优异的低压性能

‍‍‍‍SEM在低加速电压条件下由于电子束入射样品深度浅，出射信源号深度浅，可获得更多样品表面细节信息。低加速电压在实际应用中有很多优势：不导电样品的直接观察、耐受性差样品的直接观察、具有丰富表面细节信息的样品的直接观察等等。但钨灯丝设备随着加速电压值的减小，其分辨率明显降低，同时也可能由于探针束流的减小引起图像信噪比变差。因此，低加速电压图像质量的好坏更贴现了材料表面微结构与成分分析系统的性能优劣。‍‍‍‍

1、  日立FlexSEM1000II拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计，延续了高分辨率的钨灯丝电镜SU3500的电子光学系统，实现了15nm@1kV(SE)的分辨率，可更好地观察样品表面形貌。（当加速电压降到5kV以下时，按照普通的设计模式，其发射束流非常弱，亮度很低，细节难以分辨，但FlexSEM1000II的低球差设计使得发射束流自动增大，样品有更大量电子激发，获得更多的样品细节信息（图像上的表现是亮‍‍度‍‍‍‍‍‍大幅增加，提高了清晰度））。‍‍‍‍‍‍

日立FlexSEM1000II领先的5分割背散射电子探头，采用与日立热场电镜SU5000相同分割模式，且观察时刷新速度更快，方便了样品查找，极大地提高了做样速度和图像质量，图像的立体感更强。‍‍‍‍‍‍‍‍

三、卓越的低真空成像能力

在实际工作中，我们往往会遇到一些导电性差的样品（如纤维）、潮湿的样品（如植物叶片）、多孔的样品（如水泥）、不可镀金的不导电样品（如PCB）等等，在不镀金的情况下往往荷电严重，无法观察到理想形貌，低真空可以解决以上问题，低真空是相对于高真空而言，在样品仓内通入一定量的空气，电子束散射的一部分电子电离空气分子，其中正电荷和不导电样品表面的多余负电荷相中和达到消除荷电的目的。

1、日立FlexSEM1000II可变压力真空范围6-100Pa，是电镜常用的低真空范围，足够不导电样品的荷电消除使用，加上低球差物镜，更多电子束边缘电子会聚在光轴上，束斑更亮，使得成像效果更优异。

‍‍2、高低真空之间可实现一键切换，无需重新安装压差光阑，无需重新安装低真空探头，节省时间，降低操作难度，日立的高低真空使用可用同一背散射电子探头。‍‍

3、相比于FlexSEM1000，FlexSEM1000II能够选配在高低真空下均能够使用的可变压力探头（UVD2.0），探测效率更高，反映二次电子形貌相。

四、在操作上，日立FlexSEM1000II有了更加人性化的改进：

1、自动化效率高与自动功能项目多，对操作者的操作基础实现零要求，操作者在无任何基础条件下亦可拍出较高倍数，例如常用的对中、聚焦、象散、对比度等无需根据经验手动调节，仅需自动完成。

2、操‍‍作界面简洁，功能一幕了然‍‍‍‍，各区域位置划分便于操作调节和预览，另有触屏功能，适用‍‍于不同操作习惯者操作，图标形象便于区分，图片预览模式便于分析比较筛选选择有价值图片。‍‍

3、  导航功能更加丰富而多元化。有入门操作引导的导向，信号混合模式选择以及样品位置选择的3D导览更加准确，真实，导航可电镜图片也可光学图片，还可以指定点的导航。

4、 FlexSEM1000II增加报告导出功能，能够将所拍摄图片以Word/ Excel / PowerPoint的形式导出，提高工作效率。

五、简易的维护，完善的售后服务

‍‍1、FlexSEM1000II占地空间小，节能环保，相比一般钨灯丝设备，节约用电50%；‍‍

2、真人维护演示功能，通过真人演示各项维护操作，形象易学；

‍‍3、日立材料表面微结构与成分分析系统的性能具有高可靠性，长期使用性能衰减小，故障率低；‍‍

4、日立公司拥有数十位经验丰富的应用工程师，随时为用户解答疑问，每年定期3次以上单一型号的电镜免费培训班，为用户的高水平操作提供帮助；

5、800热线做到24小时响应，48小时到场，随时随地为客户的设备正常运行故障检修保驾护航。