仪器种类： 实验室
产地类别： 国产
适用领域： 高纯气体分析专用
控制温度范围： 0-400
升温速度： 0-40
冷却速度： 350-50
载气流量范围及控制： 0-800
载气压力范围及控制： 0-500
进样口最高使用温度： 400
进样口压力设定范围： 0-500
进样口总流量设定范围： 0-800
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四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目。
| 硅(SiHCl3)含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 二氯硅烷(SiH2Cl2)含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量（体积分数）/l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
| 金属元素及其他元素含量 | （硼+铝）（B+Al）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.1 |
| （磷+砷）（P+As）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.3 | |
| 镓（Ga）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 锑（Sb）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 铟（In）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 钙（Ca）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 铬（Cr）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 铁（Fe）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钾（K）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钠（Na）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 镍（Ni）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钼（Mo）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 锰（Mn） 含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 铜（Cu）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 镉（Cd） 含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钴（Co）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 锌（Zn）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 钒（V）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
产品货期: 30天
整机质保期: 1月
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 2小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 7天
核心零部支持时间: 10年
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 维修手册
无理由退换货: 不支持
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