透射电子显微镜

半导体的Themis SS / TEM

佳图像分辨率和高分析效率的完美结合

Themis SS / TEM是80-200kV扫描/透射电子显微镜（S / TEM），用于半导体器件的高速成像和分析。作为行业标准Themis系列的新成员，Themis S TEM继承了佳空间分辨率高效化学分析的独特组合。

半导体的Themis SS / TEM优势包括：

高分辨率和高通量分析的佳组合。镜头配置使此功能仅在Themis列上可用。它提供了佳的图像分辨率以及的EDS效率。

得信赖的测量精度。当测量不确定度≤2％时，关键尺寸测量是可信赖的，可重复的和一致的。

高的多功能性。光学，化学检测，宽间隙极靴和独特的应用软件的结合确保了平台涵盖的广泛应用。

快的数据记录时间

Themis SS / TEM通过结合使用压电平台和漂移校正框架积分（DCFI）来补偿快的数据采集时间，以补偿可能的样品漂移。这使得在样品加载后仅几分钟就可以在TEM和STEM模式下获取高质量的高分辨率图像。

优化生产力

为了优化生产率，Themis SS / TEM使用双线圈定焦镜来大程度地减少热漂移并大化系统吞吐量。当在模式之间切换时，例如从低倍率模式更改为特征搜索而从高倍率模式更改为成像时，这种设计消除了镜头中的热量变化。

特色文件

Themis S TEM数据表

Themis S TEM具有亚?分辨率，快的能量色散X射线光谱（EDS）收集能力，并能够灵活地应对其他关键的半导体用例，例如应变测量和低剂量，高对比度成像（iDPC） 。Themis S TEM解决了需要高通量，高质量和多功能性的材料分析实验室的需求，特别是在20nm以下技术节点工作的半导体故障分析实验室。

合作、共赢！

美国热电：直读光谱仪ARL8860、XRF、XRD;

       ICP、电镜、电子能谱仪

德国徕卡：金相显微镜、体视显微镜、电镜制样设备

英斯特朗：疲劳试验机、万能试验机；

       摆锤冲击试验机、落锤冲击试验机

东京精密：圆度仪、轮廓仪、粗糙度仪、三坐标

美国法如：激光跟踪仪、关节臂及扫描                                           

日本奥林巴斯手持光谱仪   德国帕马斯颗粒计数器

租赁检测：便携式三坐标、激光跟踪仪、3D扫描仪

为客户提供专业的检测服务，帮客户挖掘新的赢利空间！

上海澳信检测技术有限公司

青岛澳信仪器有限公司

青岛澳信质量技术服务有限公司

联系地址：青岛市城阳区山河路702号

上海地址：上海浦东新区川沙路1098号

新美测（青岛）测试科技有限公司提供测试服务：静态力学测试主要包括拉伸、压缩、弯曲、剪切等；动态疲劳测试主要包括：拉拉疲劳、拉压疲劳、压压疲劳、裂纹扩展速率等