扫描电镜专用清洗仪Evactron® 25 De-Contaminator
高真空的SEM扫描电镜系统、聚焦离子束FIB系统、CD-SEMs系统、纳米探针和其它高真空腔室。在SEM电镜观察时,由于样品、操作过程、油污和FIB的气体注入都会给系统带来的碳氢污染物,它们会累积在样品室表面、探测器以及EDX窗口,进而影响系统分辨率、清晰度、真空度以及稳定性。美国XEI公司Evactron等离子清洗仪适用于任何扫描电镜系统、FIB系统,它可以很好的解决这些困扰电镜使用者的污染问题.
Evactron®扫描电镜清洗仪很容易的帮助去除存在于扫描电镜(SEM)、聚焦离子束(FIB)以及其他真空室的大气污染、碳氢化合污染物以及碳污染物。Evactron®扫描电镜等离子清洗机利用射频低温等离子体制造氧自由基,沿壁清除污染物。对于真空设备上的X射线窗口等没有伤害。 使用扫描电镜专用清洗仪Evactron® 25 De-Contaminator前后图片对比 特点 1、安装操作便利 2、涡轮增压清洁腔室 3、功耗:5-20 W 4、配合真空腔接口以及清洗机控制器进行操作 5、通过面板或者电脑对压力、功率以及时间进行预设 6、无需特殊气体 7、先进的等离子监测功能 8、保留清洗以及问题记录,方便日常维护 9、KF 40真空法兰,另有转接法兰可供选择。 10、重量8 kg |
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