显微镜配套光学薄膜测量仪

FR系列光学薄膜测量表征系统是应用分光光谱反射原理精确测量光学或非光学薄膜膜厚以及光学常数测量，测量准确度达到纳米量级。

具有实时多功能测量、测量快速、非接触非破坏、优秀的准确性和重复性、易于上手操作等特点，是目前市场上性价比最优应用最普及的的薄膜表征测量设备。

在被测量的薄膜上垂直照射可视光(光源波长可选), 光的一部分在膜的表面反射, 另一部分透进薄膜, 然后在膜与底层之间的界面反射,  薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。利用白光干涉测量法的原理, 它用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据, 由于反射率n和k随薄膜的不同而变化,  根据这一特性进行曲线拟合从而求得膜厚。不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述，从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。

FR系列光学膜厚测量仪提供了多种解决方案, 用于单层或多层, Supported & Free-standing薄膜, 透明或半透明,  均匀或非均匀薄膜, 可选加热冷却或液态环境原位测量的多功能无损表征工具。薄膜测量范围为1nm到500um, 最多可达10层薄膜测量,  通常拟合曲线和实际曲线由于干涉会有一些差异，仪器的算法充分考虑到了这一点，也可在比较粗糙的表面进行测量。

• Film thickness 膜厚

• Refractive index (both real and imaginary  parts) 折射率(实部或虚部)

• Uniformity 均匀度

• Roughness 粗燥度

• Color 颜色

• Reflectance 反射率

• Transmittance 透射率

• Absorbance 吸收率

FR-μProbe是一套用于透过光学显微镜进行感兴趣点的光吸收,光透射,光反射和荧光测量的集成化方案。这个设备包含了两套光学部件：一个装备着用于光谱中全谱分析的可变光栅的集成化光谱仪，和一套配合光学显微镜目镜的适配器。光源使用光学显微镜存在的光源，目镜适配器是根据配套安装显微镜的尺寸定制的，也包含了一套用于增加光信号收集的透镜。通过使用不同物镜透镜改变放大倍率来控制测量观察区域，典型的是使用50倍物镜，视野范围大概是250微米直径。

此外，也可通过额外的光反射精确测算感兴趣厚的薄的区域（比如制作的薄膜）膜厚和光学常数（n&k值）。

FR-μProbe外壳使用高质量铝设计打造提供一个优雅而坚固的构造，整套系统（硬件-软件）出厂时装备好以供用户方便上手测量，设备只需有基本电脑操作技术就可以很容易上手，不需要更深的光学知识。