CAMECA 场发射电子探针 SXFiveFE（CAMECA EPMA SXFiveFE）

Cameca EPMA历史悠久
    电子探针微区分析(EPMA)的历史和CAMECA紧紧相连。作为在1950年代开创此技术的先驱，CAMECA公司研发、推广并支持了若干代EPMA仪器。今天，全世界有超过700台CAMECA的电子探针在运行，在地球化学、矿物学、地质年代学、物理及核冶金、材料科学（包括水泥、玻璃、陶瓷、超导体）、生物化学、微电子学等领域实现高精度的定性与定量化学微区分析。
 
超级的分析性能
    通过提供更高、更稳定的束电流，以及比其他现有仪器（如SEM-EDS）更好的信号峰背景比，基于WDS的CAMECA电子探针是唯一实现主量和痕量元素精确定量分析的仪器。
    现在，场发射源的引入，优化了低电压和高电流，在微区定量分析中，可实现最小的激活体积和尽可能高的空间分辨率。
 
拥有场发射源的超级分析平台
 
SXFive和SXFiveFE的新特色
 
场发射源或W/LaB6源
新电子光学系统提供了更高的分辨率
优化的真空系统提供更优的检出能力，对于轻元素有重要意义
环形的法拉第杯带来增强的可靠性
自动化程度更高，更大产率
从W/LaB6源升级为场发射源可在现场完成
 
SXFive和SXFiveFE带来了CAMECA早期的电子探针显微分析仪所有优势，同时提供了独一无二的场发射电子束和CAMECA业界领先的高灵敏度和高分辨率的谱仪的结合。这种独一无二的组合代表了在微区分析上的重大突破。
 
这些特色，以及可靠性的改善，和重新设计的电子束，集大成于一个多功能显微分析仪，可提供无与伦比的显微定量和超高空间分辨率的X射线成像能力。
 
满足您需求的两种仪器配置：
 
SXFive — 配置多功能W/LaB6源
 
SXFive配置有多功能电子枪，可使用高功率（最高30KV）的钨灯丝或一个LaB6阴极可得到更好的横向分辨率。归功于电子枪中高达10^-6Pa的真空度，这款仪器可以在W和LaB6灯丝之间在数小时内方便快捷地进行切换。
 
在10kv，100nA的实验条件下，使用SXFive的LaB6阴极，可得到0.5um的分析分辨率，使在微小的区域内测量含量小于0.01%的痕量元素成为可能，并能得到良好的统计精度。
 
SXFive可升级为SXFive FE
 
SXFive FE — 配置场发射源
 
对于要求超高分辨率的应用，CAMECA开发了场发射源：

1. 提高了横向分辨率

2. 对于痕量元素的分析应用，保持高电流。

 
归功于其场发射源，SXFive FE在中等加速电压下允许使用小尺寸探头，从而保证高横向分辨率。在10KV，100nA条件下，可获得150nm直径的电子束，确保高质量的微量和痕量元素分析。和常规EPMA一样，高能量和高束电流也可被选择，用于进行定量分析。
 
最好的WDS
波长色散光谱被认为是高精度定量分析的方法，基于CAMECA的独特设计，SXFive和SXFiveFE的谱仪具有业内最高的分辨率，因此具有高信号峰背景比，从而提供了高灵敏度。绝对的谱峰位置由依附于系统的光学编码器提供，只需要单峰便可对整个谱仪范围进行校准。
 
根据应用的不同，最多可装5个WDS谱仪（另加一个EDS谱仪）可配置在仪器上。所有的谱仪有一个160mm的罗兰圆，电子束分离窗和差分抽气保证了谱仪和衍射晶体不受试样舱样品带来的任何污染。
 
由于CAMECA波谱仪的独特设计，15秒内即可扫描完整个谱仪。
 
安装在一个40⁰的角度，WDS谱仪是线性的和全聚焦的。谱仪的机件优化为最少的移动部件（非轮带驱动机械），从而保证了首屈一指的重复性和可靠性。
 
经过在工厂的预校准，CAMECA波谱不需要日常的维护和重新调谐。
 
高强度的晶体
 
CAMECA提供各种类型的晶体，覆盖元素周期表上从Be开始的元素。
 
大晶体、宽的波谱仪范围、高信号峰背景比实现快速的WDS分析
 
现在，为实现超高灵敏度的B和N分析的特殊的大晶体已由CAMECA开发出来，并可配置在SXFive和SXFiveFE上；对于轻元素（Be到F），可选用多层晶体。
 
CAMECA的谱仪可垂直，也可倾斜安装在仪器上。
 
倾斜安装（CAMECA的独有设计）特别适用于表面粗糙的标本分析或映射；也非常适合于峰移研究。
 
WDS和EDS同时数据采集
SXFive可以配置一个能谱用于快速矿产/相鉴别，或配置波谱仪用于定量和成像模式。
 
如果配置EDS/WDS可实现高通量产率，如用EDS测得主量元素，用WDS测得痕量元素。