一，2D光束分析仪
1，BEAMAGE
1/2或2/3吋CCD相机
140万像素
紫外到红外光谱范围
电脑供电并控制
光斑可测6.3mmx4.8mm，最大可达8.8mmx6.6mm
2，BEAMAGE FOCUS
1/2或2/3吋CCD相机
140万像素
紫外到红外光谱范围
电脑供电并控制
光斑最大可测达20mmx15mm
3，BEAM'R2
狭缝扫描光束
XY平面二维狭缝扫描
Si或InGaAs两种传感器
可提供同时提供双传感器，能覆盖更宽波长
二，3D光束质量分析仪
1，BEAMMAP2
狭缝扫描光束
XYZθ立体光束扫描
实时光束M2、发散角和准直测量
Si或InGaAs两种传感器
可提供同时提供双传感器，能覆盖更宽波长
2，BEAMSCOPE-P8
探针扫描
可提供小孔、单缝，双缝方式
可实时测量XY截面、发散角、椭圆率、中心位置和高斯匹配等
2D或3D显示
可对光束达40mmX25mm扫描（带M2平台）
