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德国莱宝涡轮分子泵和无油隔膜泵的完美配合产生一个洁净的< 5 |
*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 透射电镜样品杆的真空检 |
漏和等离子体清洗用途。采用远程ICP 射频离子源清洗，高效、低 |
等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器，触摸屏控 |
制，即插即用。 |
技术规格 | 参数 |
泵组 | 德国莱宝涡轮分子泵 90iX+隔膜泵DIVAC0.8T |
分子泵入口法兰 | DN 63 ISO -K （标准） |
分子泵抽速 | 90 L/s （N2） |
前级泵 | ~15 L/Min |
极限真空 | <3*10-6 Torr |
泵组启动时间 | <200 s |
TEM样品杆配件 | 适用于FEI、JOEL等品牌样品杆可选 |
样品腔室尺寸 | ~? 150 *140 mm， 其他尺寸可定制可以放置最多3路TEM hoder |
等离子体清洗源 | 远程ICP 射频源原理，手动匹配 |
清洗电源功率 | 13.56 MHz RF电源，5-50W 可调 |
清洗气体控制 | 标配外接2路MFC流量计控制，可以外接如Ar或O2等清洗气体 |
真空规 | 德国Leybold Vacuum全量程复合规 |
操作方式 | 三菱触摸屏控制 |
重量 | ~30 kg |
尺寸 | ~500 mm长*450 mm宽*500 mm高 |
电源 | 220V AC，50/60Hz 接地三脚插头 |
功耗 | ~400 W |
冷却方式 | 风冷 |
质量保证 | 一年免费/终身维护 |
