台阶仪

                   台阶仪
NanoMap-500LS
 
NanoMap 500LS台阶仪
特点 
 该款台阶仪是常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合 
 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图 
 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。 
 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察 
 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（最大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（最小０.１nm ） 
 软件设置恒定微力接触 
 简单的2步关键操作，友好的软件操作界面 
应用 
台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将轮廓仪带入了另一个高精度测量的新时代。
三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。 
薄膜和厚膜的台阶高度测量 
划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量 
空间分析和表面纹理表征 
平面度和曲率测量 
二维薄膜应力测量 
微电子表面分析和MEMS表征 
表面质量和缺陷检测 
环境要求 
湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝 
温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时） 
电源要求：110/240V，50/60 Hz 

技术规格 
类型 项目 规格 
综述 小范围XY扫描头，提供高精确度 
XY平台扫描，提供大尺度测量 
带亮场和暗场的全时彩色CCD照相机 
软件控制触针测量力，范围 0.1-100mg 
触针针尖半径选件 2μm，5 μm，12.5 μm和25 μm，0.1-0.8μm可选 
针尖扫描 
(Piezo扫描器) 台阶高度重现性 0.6nm 
垂直分辨率 0.1nm 
测量高度精细范围 5μm 
测量高度粗略范围 0.5mm 
XY扫描分辨率 0.1μm 
XY扫描定位重现性 0.2μm 
扫描速度 10-50μm/sec 
扫描范围 10-500μm 
每次扫描数据点 100-1000数据点 最多至110000数据点
样品台扫描 XY样品区域 100mm X 100mm, 150mm安装间隙 
XY平台运动范围 100mm X 100mm（150mm X 150mm） 
XY平台定位重现性 5μm，2μm可选 
最大扫描长度 50mm 
扫描速度 0.1-5mm/sec 
Z平台范围 55mm 
最大样品高度 50mm 
手动旋转平台范围 360度 
手动倾斜平台范围 ±2度 
标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证） 100μm 
系统 光学照相机视场范围 1.5 X 1.5mm 
光学照明 软件控制暗场和亮场 
电脑 Pentium IV, USB2.0联接 
操作系统 Win XP 
系统动力需求 90-240V，350W 
空间尺寸 20’’ 宽X 22’’长 X 25’’高 
重量 160lb 
联系方式：aep Technology
电话：
传真：
手机：何先生
公司网址：
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