接触式表面轮廓仪（台阶仪）

仪器简介：

Dektak150型是Veeco公司2007年正式推出的最新型探针式表面轮廓仪(台阶仪)产品，主要应用于薄膜厚度测量、样品表面形貌测量、薄膜应力测量、样品表面粗糙度/波纹度测量、以及样品表面三维形貌测量等众多领域。

Dektak 150集四十余年的技术积累和创新于一身，为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置。坚固的铝质材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。基于Windows XP的Dektak随机配备软件系统界面友好，为用户提供了完善的分析功能。“一键式”操作方式使得测量工作简单易行。通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。

技术参数：

测量重复性 6Å
扫描长度 50μm-55mm
单次扫描最大数据点 60,000个
允许样品最大高度 100mm (根据配置不同会有所变化)
垂直范围量程 524μm (1mm选配)
最高垂直分辨率 1 Å (6.55μm量程范围下)
样品台 150mm，X-Y-θ手动调节
探针压力范围 1-15mg (0.03mg选配)
摄像头显微镜视野范围2.6mm (0.67-4.29mm选配)

主要特点：

1. 台阶高度测量的高重复性
2. 基于精密加工光学参考平面的样品台，
确保在长距离扫描中基线的稳定性
3. 出色的易用性、易维护性
4. 最好的样品适用性
5. 高分辨率的粗糙度测量
6. 功能强大的软件分析系统
7. 三维表面形貌测量的功能可升级性
8. 广泛的应用领域