SAWATEC AG成立于1996年。创始人Sawatzki父子将两人在半导体行业长期积累的经验与技术完美的结合，设计制造出一系列半导体相关设备。并以其可靠的，完美的性能，得到业界的好评。
SAWATEC AG 是一家高科技创新型公司，所有产品都是经过精心设计的，具有高质量，高性价比等优点。供应商遍及世界各地。
产品目录：
• Hotplate 热板
• Spinner 旋涂机/匀胶机
• Developer 显影机
• 全自动集成系统 Cluster-System
HP 200-Z-HMDS
- 控温范围：25-300°C,控温精度+/-0.3°C by 100°C 主体结构为不锈钢结构,5.7”单色触摸屏PLC控制 - 可设置多达20步的加温流程 - 加热温度程序控制,最大10°C/min(25°- 300°C) - 降温温度程序控制,最大 5°C/min (300°-40°C) - 手动放片，真空固定 - 热板尺寸: 210x210mm，阳极氧化铝材质 - N2保护，HMDS蒸镀及水冷功能其它型号可选
