SAWATEC AG成立于1996年。创始人Sawatzki父子将两人在半导体行业长期积累的经验与技术完美的结合，设计制造出一系列半导体相关设备。并以其可靠的，完美的性能，得到业界的好评。
SAWATEC AG 是一家高科技创新型公司，所有产品都是经过精心设计的，具有高质量，高性价比等优点。供应商遍及世界各地。
产品目录：
• Hotplate 热板
• Spinner 旋涂机/匀胶机
• Developer 显影机
• 全自动集成系统 Cluster-System
显影机LRD-250
- 5.7”单色触摸屏控制 - 转速（rpm),加速度,程序时间(s), 显影液喷洒时间(s),滴液臂转动 速度，干片时间等可控 - 最多可设置50个操作程序，每个 程序最多可设置24步 - 不锈钢材质腔最大适合8"或6"x6" (212mm)”基片 - 旋转速度: 3'000 rpm +/- 1 rpm - 工艺腔罩可加热，温度最高达50°C - 电动喷液臂,具有静态和动态喷液功能 - 最多可配置4路显影及去离子水，N2等 管路 - PEEK材质喷嘴SN-20/08 - 手动方片，机械固定 - 机柜面板材料: 聚丙烯
