产地类别： 进口
特点
即放即测！
通过自动定位功能，放置样品后仅需几秒，便能自动对准观察样品焦点。
10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量！
以最佳的设计实现微小区域下的高灵敏度，即使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度地提高膜厚测量的精度。
无标样测量！
将薄膜FP软件进一步扩充，即使没有厚度标准物质也能进行高精度的测量。也可简单地测量多镀层膜和合金膜样品。
通过广域观察系统更方便选择测量位置！
通过广域观察系统，能够从画面上的样品整体图（最大250×200mm）中方便地指定测量位置。
SFT-110规格说明
1. 基本规格
外型尺寸:670 mm(宽)×850 mm(深) ×675 mm(高)
重量 :<120 kg(计算机等附属品除外)
Ｘ射线照射方向:上方照射式
测量元素:Ti～Bi
测定环境:大气
Ｘ射线发生部:空冷小型Ｘ射线管球
X光管靶材:W(钨)
管电流:最小40μA最大1000μA 可变
１次滤波器 :滤波器ON、OFF的２种类（自动切换）
Ｘ射线检测部: 比例计数管
测定面积: φ0.1、φ0.2
最大样品面积:长500mm、宽400mm、高150mm
最大样品质量:10kg
2. 电动XY样品台驱动
移动范围:250×200mm
重复再现性: ±5μm
速度:40mm/sec
3. 广域摄影机
最大:250×200mm一次照射面积
摄像范围：250×200mm
摄像时间：最大20秒
定位精度：±2mm以内
分辨率: 约200um
数字倍率： 0.2～5.7倍
4. 应用
膜厚FP分析 最多五层;每层最多可测试10元素
定性分析 Ti~Bi
膜厚检量线分析(可多點連續測試)
5. 电源
操作电压: AC100～120/200～240V ±10% 単相 自动切换
频率: 50/60Hz ±1Hz
消耗电力: 动作时 300W以下 待机时 150W以下
6. 计算机规格(基本规格要求)
(1)品牌机种 DELL Optiplex780
(2)CPU Core2 Duo E8400 3.00GHz
(3)内存 １GB
(4)硬盘容量 160GB
(5)键盘 各地域対応键盘
(6)鼠标
(7)光盘 CD, DVD读, CD-RW写
(8)LAN连接埠 Ethernet LAN 10/100/1000Mhz(一组)
(9)RS-232C连接埠(两组)
(10)显示器 19型液晶(分辨率1280×1024)
(11)ＯＳ Ｗｉｎｄｏｗｓ® XP Professional 中文（簡体字、繁体字）可选。
(12)选配软件 Office 2007(Word/Excel)
