光学膜厚仪
光学膜厚仪

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PHE

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美洲

  • 银牌
  • 第17年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
该产品已下架
核心参数
仪器简介:

美国光学膜厚仪,广泛应用于各种薄膜、涂层光学常数(n and k)和厚度的精确测量,设备分为在线和离线两种工作模式,操作便捷,几秒钟内即可完成测量和数据分析,USB 连接计算机控制;

薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉,干涉的发生与膜厚及折光系数等有关,因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术,我们的薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。 

应用:
半导体(光刻胶、氧化物和氮化物等),
液晶显示器(ITO, Polyimide, Cell gap),
法医鉴定、生物薄膜和材料;
墨水、矿物、染料、化妆品;
硬质涂层、减反射涂层、滤波涂层;
医药、医疗器件;
光学薄膜、TiO2, SiO2, Ta2O5;
半导体化合物;
功能薄膜(MEMS/MOEMS);
非晶硅、纳米晶硅、晶体硅;



技术参数:


测量范围:20 nm to 50 μm (Thickness only),
                    100 nm to 10 μm (Thickness with n and k) ;

多层测量:Up to 4 layers;

光点大小调节范围:0.8 mm to 1 cm ;

薄膜厚度测量精度:±0.5%;
 
厚度测重复性:0.1nm; 

样品台尺寸:200 mm × 200 mm;



主要特点:

*基片折射率和消光系数测量;

*薄膜厚度测量,平均值和标准偏差分析;

*薄膜折射率和消光系数测量;

*适用于不用材质和厚度的薄膜、涂层和基片;

*测试数据输出和加载;

*直接Patterned或特征机构的试样测试;

*可用于实时在线薄膜厚度、折射率监测;

*波长范围可选;

*系统配备强大的光学常数库和材料数据库,便于测试和数据分析;

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