半导体&电子测试测量,投稿:kangpc@instrument.com.cn
原子层沉积
近日,光驰半导体技术(上海)有限公司(以下简称 “光驰半导体”)成功摘得宝山高新技术产业园区的BSPO-1801单元07-17标准地33357.6平方米(合计50亩)工业用地,并与上海市宝山区规划和自然资源局签订土地使用权出让合同,光驰半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目在园区实质落地。
图片来源:上海宝山
据上海宝山消息,光驰半导体项目未来将以半导体前沿ALD(原子层镀膜)技术与刻蚀技术为依据,以持续技术创新和市场开拓为导向,在半导体制造与器件领域实现技术的应用与扩大销售。项目计划2022年8月开工,预计2023年10月竣工。
光驰半导体是光驰科技(上海)有限公司的全资子公司,据该公司官网信息,光驰科技(上海)有限公司是株式会社光驰(OPTORUN CO.,LTD)投资成立,以高精度镀膜机的设计与制造为基础的外资独资型企业,生产用于光通信设备、导光系统中制备各种光学部件的增透膜;各类型滤光片的高精度镀膜设备;工艺的研究和开发;相关设备的维修及售后服务。
[来源:集微网]
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