2022上半年国产半导体设备商IPO情况盘点

半导体设备是半导体产业的基石，也是国内半导体产业最为薄弱的环节之一。随着集成电路产业，特别是新型芯片和先进工艺的产能扩张为半导体设备行业带来了广阔的市场空间。值此半导体产业爆发之际，国产半导体设备商开启IPO之路，以期募集资金提升技术实力并扩张产能。

近日，仪器信息网对公开信息进行梳理，统计了2022年上半年半导体设备企业的IPO情况，以飨读者。（统计数据可能不全，欢迎联系补充，邮箱：kangpc@instrument.com.cn）

微导纳米二闯科创板

2022年3月3日，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称：微导纳米）再度闯关科创版。微导纳米此前两次冲刺A股上市均无疾而终，此后更换了辅导机构。微导纳米掌握ALD核心技术，此前面临关联交易质疑，以及专利纷争。

撤回IPO申请一年之后，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”）整装再出发，以全新股东阵容冲刺科创板，25名股东中不仅包含11家私募基金股东，其中更不乏君联资本、高瓴投资等明星机构的身影。拟募资规模也提高了1倍，由前次的5亿元调至10亿元，主要用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级、集成电路高端装备产业化应用中心等项目和补充流动资金。其中，补充流动资金预计金额为1.5亿元。

资料显示，微导纳米成立于2015年12月25日，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售， 向下游客户提供先进薄膜沉积设备与相关改造服务及备品备件。

此次IPO，多家知名机构的入股为微导纳米增色不少，不过此类投资机构向来逐利特征明显，通常会在企业上市之后迅速获利抽离，所以很难对企业的长远发展起到助力作用。更值得关注的是，该公司财务数据钩稽关系不成立，企业存在为扮靓业绩调整数据的可能性。

拓荆科技正式登陆科创板

4月20日，拓荆科技股份有限公司（688072）正式登陆上海证券交易所科创板。

作为高端半导体专用设备企业，拓荆科技一直秉持自主创新发展，凭借一系列独创性的设计，完善的知识产权体系，以及达到国际先进水平的核心技术，公司已在国际市场展露头脚。拓荆科技表示，此次发行上市，是公司发展史上的一个重要里程碑，公司将借助资本市场这一平台，全面提升公司综合实力和公司价值，实现投资者利益最大化。

拓荆科技作为自主创新的半导体设备供应商，为进一步提高技术先进性，丰富设备种类，拓展技术应用领域，提升市场占有率，开发台湾市场，公司拟借助资本力量，募集资金用于高端半导体设备扩产、先进半导体设备的技术研发与改进，以及ALD设备研发与产业化等项目。

按照发展规划，公司将开展配适10nm以下制程的PECVD产品研发；开发Thermal ALD 和大腔室PE ALD；同时升级SACVD设备，研发12英寸满足28nm以下制程工艺需要的SACVD设备。

华海清科成功登陆科创板

6月8日，华海清科股份有限公司（以下简称“华海清科”）成功登陆科创板。

华海清科的主营业务为CMP（化学机械抛光）设备，是目前国内唯一一家能够提供半导体12英寸CMP商业机型的厂商，其产品可覆盖8英寸（200mm）、12英寸（300mm）晶圆产线，已应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔等国内外芯片厂商的产线中。报告期内，华海清科营收增长较快，2019年-2021年总营收分别为2.11亿元、3.86亿元和8.05亿元。

截至招股书签署日，清华大学拥有华海清科37.854%的股份，为公司实际控制人和间接控股股东。

本次IPO，华海清科计划募资10亿元，将分别用于“高端半导体装备（化学机械抛光机）产业化项目”、“高端半导体装备研发项目”、“晶圆再生项目”和“补充流动资金”4个项目，扣除发行费用后共募集了34.9亿元，超募近2.5倍。

中科飞测赴科创板IPO

6月16日，深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”）首发申请上会。中科飞测公开发行股票数量不超过80，000，000股，占发行后已发行股份总数比例不超过于25%。本次募集资金100，000.00万元，主要用于高端半导体质量控制设备产业化项目、研发中心升级建设项目和补充流动资金。中科飞测将登陆上交所科创板上市，保荐机构为国泰君安证券。

据了解，中科飞测是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。随着半导体制程技术快速发展，质量控制设备也向更小的工艺节点发展，研发难度逐渐提高。当前，国际巨头普遍能够覆盖 2Xnm 以下制程，先进产品已经应用在 7nm 以下制程。中科飞测产品虽然已能够覆盖 2Xnm 及以上制程，但对于应用于 2Xnm 以下制程的质量控制设备仍在研发或验证中，与科磊半导体、应用材料、创新科技等国际巨头在制程工艺的先进性方面尚存在较大差距。

报告期内，中科飞测营业收入分别为5,598.37万元、23,758.77万元、36,055.34万元，扣除非经常性损益后归属于母公司所有者的净利润分别为-7,238.70万元、-132.58万元、348.01万元，2021年度中科飞测首次实现微利。同时，报告期内，中科飞测经营活动现金流量净额分别为-2,848.82万元、-8,672.18万元和-9,989.46万元，存在持续为负的情况。

报告期内，中科飞测产品已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，打破在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。与此同时，其积极承担了多个国家级、省级、市级重点专项研发任务，助力国内集成电路产业领域关键产品和技术的攻关与突破。

联动科技冲关创业板

公开资料显示，联动科技主营半导体行业后道封装测试领域专用设备的研发、生产和销售，其主要产品包括半导体自动化测试系统、激光打标设备及其他机电一体化设备。

在首次冲击科创板IPO却以主动撤回上市申请而铩羽之后，改弦更道期望于创业板挂牌的联动科技，在经过深交所近9个月时间和前后共计三轮问询及一次落实审核中心意见之后，终于即将在2022年3月25日召开的创业板上市委2022年第15次审议会议上迎来其IPO之旅中至关重要的表决。

与在2020年9月首次申请科创板上市时一样，此次瞄准创业板IPO的联动科技同样计划发行不超过1160万股，但募集资金则较之前足足提高了1.62亿达到6.37亿。这近6.4亿资金将被联动科技用来投向“半导体封装测试设备产业化扩产建设”、“半导体封装测试设备研发中心建设”、“营销服务网络建设”等三大项目及补充营运资金。

恒普科技科创板IPO恢复上市审核

2022年3月30日，上交所正式受理了宁波恒普真空科技股份有限公司（简称：恒普科技）科创板上市申请。本次拟募资3.52亿元，投建于宽禁带半导体及金属粉末材料用高端热工装备扩产项目、研发中心建设项目以及补充流动资金。

2022年5月5日，宁波恒普真空科技股份有限公司及其中介机构因受疫情影响，无法在规定时限内完成尽职调查、回复审核问询等工作，向上交所申请中止审核。

2022年6月28日，根据《审核规则》第六十六条，《审核规则》第六十四条(七)所列中止审核情形消除，上交所恢复宁波恒普真空科技股份有限公司发行上市审核。

资料显示，恒普科技是一家以材料研究为基础，以高温热场环境控制为技术核心的金属注射成形(MIM)领域和宽禁带半导体领域的关键设备供应商，主要从事金属注射成形(MIM)脱脂烧结炉、碳化硅晶体生长炉、碳化硅同质外延设备等热工装备的研发、生产和销售。

财务数据显示，公司2018年、2019年、2020年、2021年前9月营收分别为9,044.24万元、1.85亿元、2.15亿元、2.57亿元;同期对应的净利润分别为1,045.97万元、2,747.81万元、3,176.34万元、3,424.05万元。

晶升装备申请科创板IPO

4月27日，上交所已受理南京晶升装备股份有限公司（下称：晶升装备）科创板IPO申请。晶升装备本次拟公开发行股票数量不超过3,459.1524万股，不低于本次发行完成后公司总股本的25.00%，本次发行全部为新股发行，不涉及原股东公开发售股份的情形。

招股书显示，成立于2012年2月的晶升装备是一家半导体专用设备供应商，主要从事晶体生长设备的研发、生产和销售。

晶升装备此次IPO募集资金4.76亿元，将用于总部生产及研发中心建设项目、半导体晶体生长设备总装测试厂区建设项目。

矽电股份IPO获创业板受理

6月30日消息，矽电股份近日创业板上市申报材料获受理，计划发行不超过 1043.1819 万股，计划募资约5.56亿元。募投项目为“探针台研发及产业基地建设项目”、“分选机技术研发项目”、“营销服务网络升级建设项目”、补充流动资金。

矽电股份主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，专注于半导体探针测试技术领域，系境内领先的探针测试技术系列设备制造企业。

根据SEMI 和 CSA Research 统计，2019 年矽电股份占中国大陆探针台设备市场 13%的市场份额，市场份额排名第四，为中国大陆设备厂商第一名。

矽电股份强调，公司经过多年发展，已全面掌握了高精度快响应大行程精密步进技术、定位精度协同控制、探针卡自动对针技术、晶圆自动上下片技术、基于智能算法的机器视觉、电磁兼容性设计技术等探针测试核心技术。探针测试核心技术水平在境内处于领先地位，新一代全自动超精密 12 英寸晶圆探针台已实现产业化应用，晶粒探针台核心技术指标已达到国际同类设备水平。

截至2021年12月31日，矽电股份已获得授权专利172项（其中发明专利18项），软件著作权59项。

精智达闯关科创板上市进入“已问询”状态

6月25日，深圳精智达技术股份有限公司(简称：精智达)申请科创板IPO审核状态变更为“已问询”。

招股书显示，精智达去年营收45,831.36万元，净利润6,741.97万元，研发投入占营业收入的比例为7.44%。

精智达是检测设备与系统解决方案提供商，主要从事新型显示器件检测设备的研发、生产和销售业务，产品广泛应用于以AMOLED为代表的新型显示器件制造中光学特性、显示缺陷、电学特性等功能检测及校准修复，并逐步向半导体存储器件测试设备领域延伸发展，相关产品应用于以DRAM为代表的半导体存储器件制造的晶圆测试、封装测试及老化修复。

精智达此次募集资金6亿元，其中，1.98亿元用于新一代显示器件检测设备研发项目；1.62亿元用于新一代半导体存储器件测试设备研发项目；补充流动资金2.40亿元。

卓海科技拟创业板IPO

6月14日，无锡卓海科技股份有限公司披露招股说明书（申报稿），拟公开发行股票不超过约2389.56万股，不低于发行后总股本的25%。本次发行不涉及公司股东公开发售股份的情况。卓海科技此次IPO拟募资5.47亿元，募集资金用于项目及拟投入的募资金额为：半导体前道量检测设备扩产项目，拟使用募集资金金额约1.04亿元；研发中心建设项目，拟使用募集资金金额约1.84亿元；补充流动资金，拟使用募集资金金额2.60亿元。本次股票发行后拟在深交所创业板上市。

卓海科技作为国内重要的半导体前道量检测设备供应商，主要通过对退役设备的精准修复和产线适配来实现其再利用价值，为客户提供高稳定性、品类丰富的前道量检测修复设备，并通过配件供应及技术服务满足客户全方位需求。此外，公司也致力于前道量检测设备（如应力测量设备、四探针电阻测试仪等）及其关键配件（如激光器等）的自主研发。

值得注意的是，近年来，受益于国产替代的趋势，从2019年以来，国产半导体设备企业业绩呈现爆发式增长，甚至有很多企业业绩翻倍增长。大量半导体设备企业业绩表现良好，产值增长迅速，随之而来的便是扩产的需求。由于业绩表现良好，半导体企业开始大量冲刺IPO，迎来了上市大潮。