​我国电镜产业人才需求下 电子光学学科亟待发展——访西安交通大学康永锋教授

电子光学即带电粒子光学，该学科主要研究电子、离子的产生，电子、离子束的形成，对它们运动的控制，以及研究它们传输的光学特性等。在此学科基础上，电子束、离子束等技术已经被广泛应用于电子显微镜、质谱、能谱等高端科学仪器，同时，在半导体加工/检测等工业生产领域中也有重要应用。

“我国电子光学学科发展较早，但整个行业来讲，如电子显微镜的应用研究更多，而针对电镜设备本身的研究开展较少，此趋势下，我国电子光学学科逐渐萎缩。当下，发展电子光学学科已成为一项急迫的工作”。

国产电镜产业化呈现复苏背景下，由中国电子显微镜学会和仪器信息网共同发起并主办的“首届中国电镜产业化发展论坛”在第十五届中国科学仪器发展年会（ACCSI2021）同期召开。论坛上，我国电镜产业化发展对电子光学技术人才的广泛需求问题，成为与会者关注的焦点之一。

会后仪器信息网视频采访了电子光学学科专家——西安交通大学康永锋教授，围绕我国电子光学学科发展现状、电镜标准化情况、电镜人才培养等话题请其分享了观点。视频采访实录如下：

以下为视频采访部分摘要

电子光学学科的重要意义

“除了刚谈到的电子显微镜外，在工业生产中，比如集成电路芯片加工检测，电子书光刻、芯片的缺陷检测、特征尺度量测、离子束蚀刻沉积以及注入掺杂等，电子光学学科可以应用到半导体芯片加工的几乎所有的工艺环节。

除了在微纳加工领域的应用，带电粒子光学还是真空电子器件基础。在机械加工中，利用电子束可以进行切削、打孔、焊接等宏观的机械加工。此外，近年来在电子束焊接的基础上，发展起了电子束增材制造。

以上各领域的应用影响到我们整个的科学研究和工业生产中。带电粒子光学已发展成一门非常重要的基础学科。”

学科发展较早，当前出现萎缩

“上世纪八九十年代，国内很多高校，除了西安交通大学以外，如清华大学、北京大学、南开大学、东南大学、电子科技大学、北京理工大学、云南大学等这些高校都有开设电子光学学科，为国家培养了大量人才，也极大地促进了我国电子光学领域的发展。

但整个行业来讲，如电子显微镜的应用研究更多，而针对电镜设备本身的研究开展较少，此趋势下，我国电子光学学科逐渐萎缩。当下，发展电子光学学科已成为一项急迫的工作。”

关于我国电镜基础学科建设

“目前，电子光学学科建设、人才培养已经不能完全满足行业和企业的需求。从国家层面讲，希望在这一方面持续有较大投入，如建立一个电子光学方面，面向电子显微镜以及半导体加工检测等领域仪器装置的人才培养基地。理论支持方面，如加大对电子光学学科的国家基金支持力度，有一定的倾斜，促进学科的发展等。”

多方合作，共促中国电镜产业化发展

“在电子光学理论和计算方法方面，我国在国际舞台位于前列，且国内呈现了大量需求市场，近几年，国内涌现了诸多电镜、半导体加工检测相关企业，并陆续实现成长。

除了刚才讲的学科建设与人才培养，若能将国家、市场、高校、企业等多方面的力量整合，相信我们国家在电镜、半导体加工检测仪器装置等方面一定能走向国际前列。”

受访人简介

康永锋，西安交通大学教授，博士生导师；担任全国电子束离子束专委会委员、全国专业标准化技术委员会委员、IEC/TC27/M26专家组召集人。先后在日本大阪大学超高压电镜中心担任特任研究员，西安交通大学副教授、教授。长期从事电子光学理论、数值计算以及高分辨电子光学系统研制工作。在电子光学领域主持国家重大科技专项课题、国家自然科学基金等国家项目5项，相关研究成果在《Ultramicroscopy》、《Nuclear Inst. Methods A》、和《Optik》等电子光学专业期刊，发表学术论文30余篇，授权国家发明专利5件, 修订2项电子枪国际标准。