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时下,中美贸易战已持续超过一年,且还未有减弱势头。科学仪器领域也受到大范围波及,许多高端仪器、核心零部件、核心技术等“卡脖子”技术,再次引起国人广泛关注。同时,“中国芯”事件,也侧面促进了国家对半导体产业的重视,近年来,我国半导体产业呈势如破竹建设之势,全球也出现的半导体产能向中国转移的局势。
不同于其他产业,良品率是半导体产业的生命线,而半导体检测贯穿集成电路制造的全过程,对半导体良品率有着至关重要的作用。随之,半导体产业的发展,也为半导体检测设备带来巨大商机。据第三方数据,2019年,中国大陆的检测设备市场空间达218亿元,同比增达47%。其中,前道检测设备与后道检测设备市场空间分别为124亿元和94亿元,且市场增长空间广阔。
前道检测:国产设备商机已现
1)前道检测主要是针对膜厚、线宽,及膜应力等参数进行测量,主要检测设备包括光学检测设备(图形晶圆光学检查)、掩膜检测设备、薄膜测量、扫描电子显微镜(关键尺寸检测)等,预计这些设备中国大陆的市场空间如下图。
2)设备品牌方面,日立、科磊日立,及应用材料共占去总市场八成份额,市场外资占据明显。国产方面,上海睿励在光学测量领域实现了国产化,精测电子也进行了相关布局,国产品牌接下来有望在一些细分领域有所突破。
后道检测:部分国产品牌出露锋芒,下游应用领域依旧弱势
1) 后道检测设备主要包括三类,即测试机、分选机,以及探针台,第三方评估此三类检测设备中国大陆市场空间为94亿元。
2) 检测设备品牌方面,龙头企业泰瑞达、爱德万、科休和科利登的市场份额较高,市场高度集中。国产品牌,在部分细分领域,如长川科技在模拟/数模混合电路的测试机、分选机领域实现了国产化;精测电子也有部分在研计划,但在高端数字电路以及SoC检测等方面,国产依然弱势。
中国大陆许多兴建晶圆厂随着设备投入迈入高峰期,国产检测设备厂商也将迎来发展商机。
在此利好背景下,为促进半导体材料工作者学术及技术交流,为半导体检测市场东风助力,仪器信息网将于2019年9月3日举办“半导体材料及器件”主题网络研讨会。为全国在半导体及器件领域或有意在本领域从事研发、教学、生产的科技人员提供一个学术与技术交流的平台。会议依托成熟的网络平台,突破时间及地域的限制,让大家足不出户便能聆听行业专家的精彩报告。
会议时间:9月3日下午
会议形式:网络线上学习
参与方式:免费报名,报名链接:https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/bdt2019/
会议日程:
“半导体材料及器件”主题网络研讨会(9月3日)
14:00-14:30 | 半导体纳米材料原子尺度结构性能关系的透射电子显微学研究 | 李露颖(华中科技大学) |
14:30-15:00 | 钟新林(赛默飞) | |
15:00-15:30 | 珀金埃尔默公司半导体行业检测方案 | 华瑞(珀金埃尔默) |
15:30-16:00 | 四种制样实验方案在SEM/EBSD领域的应用 | 程路(徕卡) |
16:00-16:30 | 半导体产业现状及相关检测技术进展 | 黄杰(国家半导体器件质量监督检验中心) |
部分演讲嘉宾预告:
李露颖,华中科技大学武汉光电国家研究中心副教授,博士生导师。2011年5月毕业于美国电子显微学圣地亚利桑那州立大学,获博士学位,主要从事纳米材料原子分辨率微结构及纳米尺度电学性能的结合研究,重点关注材料的特定原子结构及相应电势、电场、电荷分布对宏观物理性质的影响,取得了一系列有影响力的研究成果。到目前为止累积发表SCI 收录论文72篇,发表第一作者或通讯作者论文18篇,其中包括Advanced Materials 4 篇(其中一项工作被Nature Physics 杂志选为研究亮点,被评价为结构-性能相关研究的典范)、Nano Letters 2 篇、Nature Communications 1 篇、Advance Science 2 篇、Small 1篇、Advanced Optical Materials 1篇等,论文总引用1700余次,H因子为21,并多次受邀在国际国内电子显微学年会上做邀请报告,目前担任湖北省电子显微镜学会理事。
报告题目:
半导体纳米材料原子尺度结构性能关系的透射电子显微学研究
报告摘要:
利用电子全息技术第一次获取了纳米尺度单个Ge量子点及单根Ge/Si核壳结构纳米线电荷分布情况的直接实验证据。结合利用电子全息及相关表征技术,从实验角度获得ZnSe纳米线多型体同质异构结对电荷进行裁剪的信息及InAs纳米棒中多型体原子尺度的自发极化强度及其受界面应力影响,为相关光电器件物理性质的调控提供了坚实的结构基础。
黄杰,研究员,国家半导体器件质量监督检验中心主任,中国电科13所副总工程师兼检测中心主任,天津大学硕士学位。1990年参加工作,一直从事质量检验、质量管理、标准化管理工作。黄杰具有深厚的质量与可靠性理论与基础,熟练掌握电子元器件可靠性试验的原理和试验方法,擅长各类电子元器件新的试验方法研究,对电子元器件的质量与可靠性评估有独到的见解。致力于核心电子器件的应用验证流程方法研究,以及具体产品的应用验证,首次提出产品成熟度评估方法。在半导体照明领域,是科技部半导体照明工程办公室技术专家,中国半导体照明/LED产业与应用联盟理事,国家半导体照明工程研发及产业联盟标准化工作组成员,国家标委会技术专家,中国光学光电子行业协会光电器件分会特聘专家,河北省半导体照明产业技术创新联盟技术委员会专家,中国电子元器件失效分析协作网理事等等。
报告题目:
半导体产业现状及相关检测技术进展
报告摘要:
半导体产品广泛应用于通信、计算机、工业、医疗、军事等领域,是支撑我国经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。随着半导体产业的升级,我国正由制造业大国向制造业强国转变,报告给出了我国半导体行业面临的机遇和挑战,梳理了国家制定的相关引导和扶持政策,分析了半导体材料、设备、芯片设计、制造及封测方面的市场占比和布局,最后给出了与半导体相关的检测技术介绍。
[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载
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