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迈可诺技术有限公司
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解决方案
MC方案：评估生物分子层厚度
应用领域
半导体检测样品
其他检测项目
厚度引入WLRS用于测量各层的厚度，评价生物分子固定在固体表面上的有效性及其与相应生物分子的后续反应。特别研究了兔（RgG）和小鼠γ-球蛋白（MgG）的吸附及其与互补抗体的反应。通过配备有0.35nm光学分辨率的VIS-NIR光谱仪和白光卤素灯的FR-Basic进行测量。基板是厚度约为1000nm的热生长SiO2薄膜的硅晶片。
共3台
MC方案：用于MEMS应用的悬浮式活性硅膜厚度测量
应用领域
半导体检测样品
其他检测项目
用于MEMS应用的悬浮式活性硅膜厚度测量硅基传感器因其高性能、低成本和小尺寸而广泛应用于不同的微机电系统。悬挂在图案化硅膜或基于硅绝缘体的传感器上的活性硅层的厚度确定对于最终平台[1]的性能控制至关重要。在这里，我们已经在一个微机电系统压力传感器上测量了这样的薄膜厚度，使用的是一个孔径为250μm的FR-μ探针工具，该工具安装在一个徕卡分模光学显微镜上。使用10X物镜进行测量，该物镜与选定的孔径大小一起对应于25μm的光斑大小(测量区域)。
共3台
MC方案：薄和超薄金属薄膜的厚度测量
应用领域
半导体检测样品
其他检测项目
厚度测量薄膜厚度对涂层的性能，特别是薄膜和超薄薄膜的性能至关重要。因此，采用非常精确和无损的方法来表征此类薄膜是非常重要的。薄膜厚度的光学测定方法具有非接触、无损、快速、准确、灵敏、重现性好等优点。在本应用说明中，我们使用FR工具测量金属薄膜和超薄薄膜的厚度。
共3台
MC方案：精确的非接触式在线PET薄膜厚度测量
应用领域
半导体检测样品
其他检测项目
精确的非接触式在线PET薄膜厚度测量FR-inLine是一种在线非接触式测厚仪，用于实时测量透明和半透明的单层或多层薄膜的厚度，以及以片状或带状形式生产的大多数材料的厚度。在本应用说明中，我们演示了使用FR工具在线测量PET薄膜的厚度。
共3台
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