核心参数
仪器种类: 高真空快速退火炉
产地类别: 进口
样品尺寸: L1000mmxD850mmxH1500mm
温度范围: 室温~1200℃
最高升温速率: 40K/sec
降温速率: 30K/sec
退火温度准确性: ±1℃
退火温度均匀性: ±1℃
适用于科研及生产线;
基片从上面载入/取出;
最大可支持的尺寸:直径为300mm的基片或者300mm×300mm的基片;
最高温度高达1200摄氏度;
升温速率为40K/sec;
降温速率分段控制:从1000℃到400℃,降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃最大降温速率控制在30K/sec;
PID处理控制器,程序段无限制,每程序段50步,带USB2.0的接口。包含UniSoft 软件,与微软Windows操作系统兼容。通过该软件,通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。
不锈钢冷腔室壁优点
工艺重复性高;
高冷却速率,低记忆效应;
高温计和热电偶控制;
快速数字PID温度控制器;
超清洁无污染的环境;
无金属和无交叉污染
应用范围:
离子注入/接触退火;
快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
SiAu,SiAl,SiMo等炼制合金;
低K电介质;
后植入退火处理;
铜浆烧制;
电阻浆料烧制;
太阳能电池晶片键合工艺;
LTO钛酸锂材料制备;
晶体化,致密化;
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企业名称
迈可诺技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
民营
信用代码
39982968-000-11-23-9
成立日期
2008-02-21
注册资本
139万
经营范围
通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务
迈可诺技术有限公司
公司地址
武汉市洪山区
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