匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜 详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater& Spin Processor) |
一、产品概述:
650型匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是650型匀胶机的特点。
二、匀胶机工作原理:
匀胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
三、匀胶机主要性能指标:
1、腔体尺寸:12.5英寸 (318 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-200mm直径的材料,方片178x178mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);
3、转动速度至少满足0-12,000rpm,
4、旋涂加速度不小于12,000rpm/sec;
5、马达旋涂转速:稳定性能误差 不超过 ±1%;
6、转速精度≤1RPM,具有国际NIST标准认证,并且无需再校准;
7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step,精度不超过0.1s;
8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;
9、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。
10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;
11、配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;
12、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;
13、原装进口水平测试仪;
14、两袋密封圈;
15、废液接收单元;
可选配置: IND构造为湿站系统设计,带远程控制; OND构造为手套箱系统设计,带远程控制; UD自动滴胶装置:UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒, EBR(Edge Bead Remover):晶圆去边,机械装置; |
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企业名称
迈可诺技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
民营
信用代码
39982968-000-11-23-9
成立日期
2008-02-21
注册资本
139万
经营范围
通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务
迈可诺技术有限公司
公司地址
武汉市洪山区
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