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核心参数
仪器种类： 普通真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 4-12英寸
温度范围： 室温~1250摄氏度
最高升温速率： ≤25℃/s（Sic载盘）
退火温度均匀性： <500℃温度均匀性:±5℃，>500'C时温度均匀性:±1%
半自动快速退火炉RTP-SA-12
RTP-SA-12半自动快速退火炉红外卤素灯管加热，灯管功率PID控温，可精准控制温度升温，可测最大样品尺寸为12寸。
产品特点：
①红外卤素灯管加热，冷却采用风冷；
②灯管功率PID控温，可精准控制温度升温，保证良好的重现性与温度均匀性；
③采用平行气路进气方式，气体的进入口设置在WAFER表面，避免退火过程中冷点产生，保证产品良好的温度均匀性；
④大气与真空处理方式均可选择，进气前气体净化处理；
⑤标配两组工艺气体，最多可扩展至6组工艺气体；
⑥可测单晶片样品的最大尺寸为12英寸（300*300mm）；
⑦采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全。
产品应用范围：
其他快速热处理工艺 砷化镓工艺
氧化物、氮化物生长 欧姆接触快速合金
硅化物合金退火 氧化回流
| 技术参数 | |
| 最大产品尺寸 | 4-12英寸晶圆或者最大支持300*300mm产品，兼容12寸及以下晶圆 |
| 温度范围 | 室温~1250℃ |
| 最高升温速度 | ≤25℃/s（Sic载盘） |
| 温度均匀度 | ＜500℃温度均匀性：±5℃，＞500℃时温度均匀性：±1% |
| 温度控制重复性 | ±1℃ |
| 温控方式 | 快速PID温控 |
晟鼎退火炉RTP-SA-12的工作原理介绍
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企业名称
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限公司
信用代码
441900001350727
成立日期
2012-06-18
注册资本
500
经营范围
研发、生产、销售:等离子表面处理设备、等离子清洗设备、等离子活化设备、等离子刻蚀设备、等离子镀膜设备及配套软件、等离子表面处理设备相关零配件、等离子电源、真空泵、流量计、自动化流水线设备、除尘清洗设备、光学检测仪器及设备、接触角测量仪、接触角测量测试软件、接触角测量仪相关配件、光学镜头、工业相机、配液自动过程控制系统、表界面仪器、激光干涉仪、膜厚仪、试验检测设备、工业自动化产品、光学玻璃制品、仪器仪表、电子元器件、五金配件及工具、数码相机及配件、计算机产品;租赁:等离子表面处理设备、表界面仪器、仪器仪表;维修:等离子设备及相关零配件、表界面仪器设备及相关零配件、电子生产设备及相关零配件。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)〓
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
公司地址
广东省东莞市虎门镇怀雅路235号
客服电话
公司名称： 东莞市晟鼎精密仪器有限公司
公司地址： 广东省东莞市虎门镇怀雅路235号 联系人： 黄女士 邮编： 523857 联系电话： 400-892-5667
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