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核心参数
仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 6-8寸
温度范围： 室温~1250℃
最高升温速率： ≤30℃/s（载盘）
退火温度均匀性： ±3摄氏度≤600℃
其它参数
全自动双腔快速退火炉RTP-DTS-8，晶圆快速退火炉
产品特点：兼容6-8英寸WAFER；全自动双腔设计，产能提升；
最高温度可达1250℃；超高温场均匀性；
稳定的温度重现性；满足SIC量产化制程需求。
行业应用：
其他快速热处理工艺；砷化镓工艺；
氧化物、氮化物生长；欧姆接触快速合金；
硅化物合金退火；氧化回流
技术参数 | |
| 最大产品尺寸 | 6-8寸 |
| Cassette or smlf | 2个 |
| 温度范围 | 室温~1250℃ |
| 最高升温速度 | ≤30℃/s（载盘） |
| 温度均匀度 | ±3℃≤600℃ ±0.5%＞600℃ |
| 温度控制重复性 | ±1℃ |
| 腔体数量 | 双腔 |
用户单位
采购时间
采购数量
清华大学
2024/09/19
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晟鼎退火炉RTP-DTS-8的工作原理介绍
退火炉RTP-DTS-8的使用方法?
晟鼎RTP-DTS-8多少钱一台?
退火炉RTP-DTS-8可以检测什么？
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晟鼎RTP-DTS-8有现货吗？
企业名称
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限公司
信用代码
441900001350727
成立日期
2012-06-18
注册资本
500
经营范围
研发、生产、销售:等离子表面处理设备、等离子清洗设备、等离子活化设备、等离子刻蚀设备、等离子镀膜设备及配套软件、等离子表面处理设备相关零配件、等离子电源、真空泵、流量计、自动化流水线设备、除尘清洗设备、光学检测仪器及设备、接触角测量仪、接触角测量测试软件、接触角测量仪相关配件、光学镜头、工业相机、配液自动过程控制系统、表界面仪器、激光干涉仪、膜厚仪、试验检测设备、工业自动化产品、光学玻璃制品、仪器仪表、电子元器件、五金配件及工具、数码相机及配件、计算机产品;租赁:等离子表面处理设备、表界面仪器、仪器仪表;维修:等离子设备及相关零配件、表界面仪器设备及相关零配件、电子生产设备及相关零配件。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)〓
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
公司地址
广东省东莞市虎门镇怀雅路235号
客服电话
公司名称： 东莞市晟鼎精密仪器有限公司
公司地址： 广东省东莞市虎门镇怀雅路235号 联系人： 黄女士 邮编： 523857 联系电话： 400-892-5667
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