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工业气体分析系统——PFC气体分析
2023/07/03 17:25
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方案摘要：
产品配置单：
JASCO FTIR-4000傅立叶变换红外光谱仪
型号： FTIR-4000
产地： 日本
品牌：
¥10万 - 15万
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JASCO多用途FTIR VIR-100/200/300
型号： VIR-100/200/300
产地： 日本
品牌：
面议
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方案详情：
诸如CF3、C2F6、C4F8和CHF3的PFC（全氟碳）气体被用作干式磨边和CVD设备的清洁剂，这是半导体制造中的一个关键过程。PFC气体被认为是全球变暖或“温室”气体，迫切需要控制这些气体的进一步排放。FTIR光谱可用于PFCs的分析。VIR系列FTIR光谱仪结构紧凑（占地面积：A4尺寸，重量：18公斤），性能可靠，适用于在线工业监测应用。多通道、长路径气室以优异的灵敏度提供最大吞吐量，VIR系列可配置用于半导体PFC气体的流通或静态测量。多变量分析方法（CLS、PCR、PLS和省略号）都可以用于多组分样品的同时定量。
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