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▼概要
美国国家标准技术研究所（National Institute of Standards and Technology）NIST发表了CaF2等的氟化物双折射对于实现光刻的高解像度是很大的障碍。现在虽然确立了补偿方法，克服这种问题，但是为验证这个方法是否可行，需要用到在真空紫外波长区域具有高灵敏度的双折射计。本装置是日本分光多年来积累的偏光测定技术在真空紫外领域的扩展，高灵敏度双折射测量的解决方案。根据偏光变调法，在真空紫外波长区域进行氟化物等的双折射测量。为排除氧以及水的吸收所有的光路都进行氮气吹扫。
◆规格
▼BRV-100
BRV-100 | |
波长范围 | 140nm～320nm |
光刻灵敏度 | 0.05nm（157nm） |
稳定性 | 1count／h（157nm） |
检测下限 | 0.17 nm（157nm） |
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企业名称
沈阳佳士科商贸有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
210103000125140
成立日期
2015-02-27
注册资本
300
经营范围
佳士科商贸有限公司
公司地址
沈阳市沈河区北站路小区77-1号1210室(光达大厦)
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