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核心参数
产地类别： 进口
卷对卷柔性薄膜沉积设备
Cassette houses flexible material
卷筒用于装载柔性衬底材料
Cassette transported from one process chamber to another via a robotic handler
制备薄膜时，卷筒可由真空机器手从一个腔室输送至另一个腔室
Advantages 此沉积系统的优点
- Eliminates cross-contamination 在制备多层膜器件时消除了交互掺杂影响
- Flexibility to adjust parameters on any part of the process. 制备薄膜时，能灵活控制各种运转沉积参数
- Down time reduced, i.e. each chamber can be serviced independently 因每个腔室可单独维护，减少了停机非运转时间
Reel to Reel Cassette Cluster tools
Cluster tool w/ 8 port locations
具有8个腔室的团簇型沉积系统
15cm and 30cm webwidth
柔性衬底的宽度可从15cm至30cm
Computer controlled
可完全由电脑程序控制操作运行
PECVD, HWCVD and Sputter capability
制备方式包括等离子体和热丝化学气相沉积，及溅射
(US patent #6,258,408B1)
（本产品获美国专利#6,258,408B1）
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企业名称
上海瞬渺光电技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(国内合资)
信用代码
310114001137602
成立日期
2004-10-15
注册资本
人民币壹佰万元
经营范围
激光设备、机电设备、电子产品、计算机网络领域的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，激光设备、机电设备、电子产品的销售。(企业经营涉及行政许可的,凭许可证件经营)
上海瞬渺光电技术有限公司
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上海市闵行区总部一号都会路2338弄122楼4F
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