核心参数
组件类别: 光学元件
得益于北京众星联恒科技有限公司在中国X射线、极紫外的专注,近10年的积累,对于极紫外光学技术及中国有较为深入的了解。而德国optiXfab公司于2012年开始商业化Fraunhofer研究所的Mo/Si多层膜专利技术,至今已经给客户生产了近2万片镜片,中大多数都是半导体工业的客户,如LLP光源的收集镜及Schwarzschild物镜等。经过双方充分的讨论及密切,我们共同决定将在半导体工业应用成熟的镀膜技术推广基于HHG,激光驱动等离子小型极紫外光源的科研应用,针对中国市场联合推出的1英寸的高性能13.5nm多层膜镜片,并在中国办公室备有库存,以实现镜片的快速交付。
Schwarzschild 物镜因其大孔径、高机械稳定性和无色差的特点而越来越多地用于 EUV 光谱区域的成像光学器件。 EUV Schwarzschild 物镜由Mo/Si多层膜的主镜子和次镜组成,在其上可以使用球面和非球面。 光学元件无应力,并使用固态铰链进行机械稳定安装。 可以在操作期间对镜子进行校正调整。
主要参数
20x | 10x | |
倍率 | 21.34 | 9.8 |
NA | 0.2 | 0.44 |
焦点距离 | 26.95 | 53.06 |
波長 | 13.5nm | 13.5nm |
主镜ー1 | ||
曲率 | 100mm | 140mm |
直径 | 52mm | 106mm |
次镜ー2 | ||
曲率 | -35mm | -175mm |
直径 | 11mm | 48mm |
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企业名称
北京众星联恒科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108015768001
成立日期
2013-04-09
注册资本
100
经营范围
技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务、技术推广;销售机械设备、电子产品、五金、交电、计算机、软件及辅助设备、通讯设备、润滑油、非金属矿石、金属矿石、金属材料、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、自行开发后的产品;计算机系统服务;数据处理;基础软件服务;应用软件服务;销售自行开发后的产品;货物进出口、技术进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京众星联恒科技有限公司
公司地址
北京市海淀区信息路1号 国际创业园西区 2号楼1305
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