关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转2459
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
产地类别： 进口
衬底尺寸： 无缝晶片尺寸转换能力高达300mm
工艺温度： 0
前驱体数： 0
重量： 0
尺寸(W x H x D)： 0
均匀性： 0
Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学，05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah, 之后生产出Plasam ALD - Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今为止，Veeco在ALD设备已有15年多的经验，全球已安装五百多台ALD设备。
方式: Thermal batch ALD
优势:完全自动化的批量生产系统，最强生产能力（每月最多40000片），成本低，产量高，极优的一致性针对脆弱/温度敏感的衬底解决方案，包括LNO/LTO/玻璃模块化热管理，以实现最强工艺灵活性和产量
薄膜: 氧化物薄膜，包含封装层、光学涂层氧化物薄膜，包含封装层、光学涂层
反应腔体大小: 无缝晶片尺寸转换能力高达300mm
维易科原子层沉积Firebird Batch Thermal ALD System 的工作原理介绍
原子层沉积Firebird Batch Thermal ALD System 的使用方法?
维易科Firebird Batch Thermal ALD System 多少钱一台?
原子层沉积Firebird Batch Thermal ALD System 可以检测什么？
原子层沉积Firebird Batch Thermal ALD System 使用的注意事项？
维易科Firebird Batch Thermal ALD System 的说明书有吗？
维易科原子层沉积Firebird Batch Thermal ALD System 的操作规程有吗？
维易科原子层沉积Firebird Batch Thermal ALD System 报价含票含运吗？
维易科Firebird Batch Thermal ALD System 有现货吗？
企业名称
香港电子器材有限公司
企业信息已认证
企业类型
私人股份有限公司
信用代码
09668219-000-05-24-6
成立日期
1985-05-09
注册资本
000000
经营范围
半导体设备代理
香港电子器材有限公司
公司地址
香港中区德辅道中71号永安集团大厦2802室
客服电话
公司名称： 香港电子器材有限公司
公司地址： 香港中区德辅道中71号永安集团大厦2802室 联系人： 陈小姐 邮编： NA 联系电话： 400-860-5168转2459
仪器信息网APP
展位手机站