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核心参数
产地类别： 国产
可生长晶体： 碳化硅
硅单晶等径长度： 2~3cm
生长晶体的直径范围： 6/8英寸
Intelligent PVT SiC System (IPS)系列SiC晶体生长系统是实现高质量SiC晶体生长、高纯度原料合成、高温晶体热处理的专业设备。广泛应用于SiC晶体生长、原料合成、晶体热处理领域。可以生长6/8英寸的晶锭。
特点
．真空炉腔系统较为限本底真空值达到≤5.0E-5Pa，升压率≤3Pa/12h，保证晶体生长的稳定性．智能化生长及监测系统，实现多种制程精确定制，工艺优化，长晶全过程实时监控，数据可视化存档
．新型感应加热线圈设计，有效提高热场加热的均匀性和稳定性．业内首创的PIM自检系统，有效减免制程时间浪费
．稳定可靠的水冷系统，实现了水道管路温度、流量的实时监控，保证了生长室温场的稳定性
．可生产6英寸P级碳化硅衬底，微管缺陷密度＜0.5个／cm2，电阻率达0.015-0.0280
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企业名称
上海纳腾仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(国内合资)
信用代码
91310117685505991R
成立日期
2009-03-12
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
分析仪器及配件、教学仪器及配件研发、生产(除计量器具)、销售;家用电器、电子产品、日用百货、办公用品、机械设备、计算机及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)批发零售;纳米、医疗、化学、生物专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务(不得从事诊疗活动、心理咨询);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
上海纳腾仪器有限公司
公司地址
徐汇区零陵路599号快易名商办公楼707室
客服电话
公司名称： 上海纳腾仪器有限公司
公司地址： 徐汇区零陵路599号快易名商办公楼707室 联系人： 王晟 邮编： 200030 联系电话： 400-860-5168转1679
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