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核心参数
自动化度： 全自动
方块电阻测量范围： 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq
方阻测量精度： +/- 1%
Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术，并由20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。KLA薄膜电阻测量技术包括接触（4PP）和非接触（EC）方法。
Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在各种基材上的导电片和薄膜，跨越10个数量级范围电阻率，包括：
半导体晶圆基板
玻璃基板
塑料（柔性）基材
PCB图案特征
太阳能电池
平板显示层和图案化特征
金属箔
二、主要功能
l 技术规格
测量范围：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
测量精度： +/- 1%；
重复度： 小于 0.2%；
样品图中无限量的测量点位，自定义测量Recipe，可线性、矩形、
极坐标以及自定义等。
Model | Description |
R50-4PP | 四探针测试 自动XY移动台-100mm*100mm 可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping测量 可放置直径200mm晶圆样品 |
R50-EC | 非接触涡流测试 自动XY移动台-100mm*100mm 可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping非接触测量 可放置直径200mm晶圆样品 |
R50-200-4PP | 四探针测试 自动XY移动台-200mm*200mm 可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping测量 |
R50-200-EC | 非接触涡流测试 自动XY移动台-200mm*200mm 可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping非接触测量 |
三、应用
支持广泛的测量，包括但不限于以下各项：
金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。
KLA四探针测试仪R50的工作原理介绍
四探针测试仪R50的使用方法?
KLAR50多少钱一台?
四探针测试仪R50可以检测什么？
四探针测试仪R50使用的注意事项？
KLAR50的说明书有吗？
KLA四探针测试仪R50的操作规程有吗？
KLA四探针测试仪R50报价含票含运吗？
KLAR50有现货吗？
企业名称
上海纳腾仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(国内合资)
信用代码
91310117685505991R
成立日期
2009-03-12
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
分析仪器及配件、教学仪器及配件研发、生产(除计量器具)、销售;家用电器、电子产品、日用百货、办公用品、机械设备、计算机及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)批发零售;纳米、医疗、化学、生物专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务(不得从事诊疗活动、心理咨询);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
上海纳腾仪器有限公司
公司地址
徐汇区零陵路599号快易名商办公楼707室
客服电话
公司名称： 上海纳腾仪器有限公司
公司地址： 徐汇区零陵路599号快易名商办公楼707室 联系人： 王晟 邮编： 200030 联系电话： 400-860-5168转1679
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