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核心参数
产地类别： 国产
VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片极限尺寸为2″，放置样品的直径为Ø50mm，加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材，不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制，操作方便直观。该机设备小巧，占用实验室空间少，操作简单，应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
1、PLC控制面板，4.3″触摸屏，PID控温方式。
2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。
3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。
4、已通过CE认证。
| 产品名称 | VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪 | |
| 产品型号 | VTC-16-3HD | |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上 5、通风装置：不需要 | |
| 主要参数 | 1、输入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2、输出功率：1600VDC 50mA（最大电流） 3、石英罩：Ø160mm×120mm 4、样品台：Ø50mm（可选购加热型样品台，最高温度可到500℃；最长溅射时间不可超过5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵6、进气口：装有精密可调针阀，以实现方便的调节进气量 7、靶材：尺寸直径Ø47mm，厚度0.1mm-3mm；可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni， 不可溅射氧化物、半导体、一些轻金属、Al、Zn、C等 | |
| 产品规格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm； | |
| 可选配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 2、不锈钢波纹管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 5、加热型样品台 | |
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企业名称
沈阳科晶自动化设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
210132000055868
成立日期
2003-06-11
注册资本
150
经营范围
切割、研磨、抛光、机床自动化设备及耗材生产与销售;经营本企业自产产品及技术的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅料及技术的进出口业务(但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。)
沈阳科晶自动化设备有限公司
公司地址
沈阳市浑南区浑南中路35-27号国际产业园 沈阳科晶自动化设备有限公司
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