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核心参数
仪器种类： 组合型（扫描+多道）
产地类别： 进口
仪器类型： 落地式
X射线光管功率： 4kW大功率
分析元素种类： 4是~92U
探测器线性范围： 高灵敏度硼检测仪AD-硼
用于薄膜评估的波长色散X射线荧光光谱仪
同时对各种薄膜的薄膜厚度和成分进行无损、非接触式分析
这是一种波长色散X射线荧光光谱仪（WD-XRF），可以以非破坏性和非接触方式同时分析尺寸达~200mm的晶圆上各种薄膜的厚度和组成。 XYθZ驱动样品台（专利方法）可以精确分析各种金属膜，避免衍射射线的影响。 4kW大功率X射线管可实现超轻元素的高精度分析，例如BPSG薄膜的痕量元素测量和硼分析。 还支持C-to-C运输机器人（可选）。 它配备了自动校准（全自动每日检查和强度校正功能）。
支持微量元素的浓度和成分分析
适用于从轻元素到重元素的各种元素： 4是~92U
高灵敏度硼检测仪AD-硼
我们不断开发新的光学系统，例如提高硼分析能力，以提高分析的准确性和稳定性。 此外，降温机构和真空度稳定机构是稳定的标准设备。
X-Y-θ 驱动级
X-Y-θ驱动样品台和测量方向设置程序可以在整个晶圆上精确测量薄膜厚度和成分分布。 铁电薄膜也不受衍射光束的影响。
应用
半导体器件BPSG，SiO2四3N4、・・掺杂多晶硅（B，P，N，AS）， Wsix、・・Al-Cu， TiW， TiN、TaN， PZT， BST， SBT， ・・MRAM、・・ 金属膜 W， Mo， Ti， Co， Ni， Al， Cu， Ir， Pt， Ru， ・ 磁盘 CoCrTa， CoCrPt， DLC， ・
NiP， ・
磁光盘 Tb-FeCo， ・ 磁头 GMR， TMR， ・
广泛的固定测角仪产品阵容
我们根据膜厚和膜结构提供最合适的固定测角仪。 我们还在准备一个专用的光学系统，可以分析硅晶圆上的Wsix薄膜。
全自动日常管理功能自动校准
为了获得准确的分析值，必须对仪器进行正确校准。 为此，必须定期测量检查晶圆和PHA调整晶圆作为管理晶圆，以保持设备的健康状况。 这种常规校准工作是完全自动化的，减少了操作员的工作量。 这就是AutoCal功能。
与 C-to-C 自动输送兼容
除了开放式暗盒外，还支持 SMIF POD。 兼容200mm以下的晶圆。 此外，还可以与主机进行SECS通信，并支持各种CIM/FA格式。
紧凑节能设计
主机占地面积1m2下面的紧凑型设计。 无油变压器的使用也使辅助设备更加紧凑和节能设计。
同时评估薄膜厚度和成分
适用于所有薄膜类型
支持小于 200 mm 的晶圆和介质盘
高分析性能、准确性和稳定性
获得专利的XYθZ驱动样品台，可获得准确的XRF结果
高灵敏度硼分析（带AD硼通道）
使用可选的 C 到 C 自动加载器进行自动校准
无油变压器X射线发生器
功耗比以前的型号低 23%
规格/规格
| 产品名称 | WDA-3650 |
| 技术 | 同步波长色散X射线荧光光谱仪（WD-XRF） |
| 用 | 最大 200 mm 晶圆的多层堆叠的厚度和成分 |
| 科技 | 4 kW X 射线发生器，带 XYθ 样品台，Rh 阳极 WDXRF |
| 主要成分 | 多达 20 个通道，固定类型（₄Be 至 ₉₂U），扫描类型（₂₂Ti 至 ₉₂U） |
| 选择 | 灵敏的AD-硼通道，使用C-c-C自动加载器进行自动校准 |
| 控制（电脑） | 内置电脑，微软视窗®操作系统 |
| 车身尺寸 | 1120（宽）x 1450（高）x 890（深）毫米 |
| 质量 | 600公斤（主机） |
| 权力 | 三相 200 VAC 50/60 Hz、30 A 或单相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A |
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企业名称
深圳华普通用科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300568501334R
成立日期
2011-01-27
注册资本
1000万
经营范围
仪器仪表、电子元器件、测试系统、自动化生产设备、办公用品的设计、研发、销售、租赁与技术咨询及维修（限上门维修）；标准物质的研发和销售；计算机软件开发（以上不含国家限制项目和专营、专控、专卖商品）；安全技术咨询（不含国家限制项目）；国内贸易（不含专营、专控、专卖商品）；经营进出口业务。（法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外，限制的项目须取得许可后方可经营）；专业设计服务；机械设备销售；仪器仪表销售；软件销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；化工产品销售（不含许可类化工产品）；建筑装饰材料销售；特种设备销售；环境保护监测；工程管理服务；家具安装和维修服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：实验室检测；仪器仪表、电子元器件、测试系统、自动化生产设备、办公用品的生产。建设工程设计；对外承包工程；建设工程施工（除核电站建设经营、民用机场建设）；建筑智能化工程施工。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）
深圳华普通用科技有限公司
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