溅射蒸碳仪SD-900C

      SD-900C 型离子溅射仪外观亮丽做工精致，是针对SEM用户研制生产的一款既能溅射金、银、铜、铂又能蒸发碳膜的一机多用设备。此款机器具有小巧方便操作简单成膜效果好之优点，可以满足广大SEM用户随时样品制备的需要。

      工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体，获得最佳镀膜效果。

      离子溅射部分是比较常用的镀膜方式，是以金属靶材和样品台分别作为阴阳两极，在真空状态下产生辉光放电，使金原子与残存的气体不断碰撞而沉积成薄膜。可以使用Au，Pt，Cr、Al、Cu等靶材。

具有成膜均匀，操作简单，所需时间短，过程可控等优点。

     热蒸发部分是把待镀膜的基片或工件置于真空室内，通过对镀膜材料加热使其蒸发气化而沉积与基体或工件表面并形成薄膜或涂层的工艺过程。通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史最悠久的镀膜技术之一。热蒸发主要用于蒸发碳。使用超纯的碳纤维绳为严格的高分辨扫描电镜、透射电镜、EBSD及探针分析提供高质量的镀膜处理。因为碳原子能够直接沉积在样品表面而不发生横向移动，所以碳能够形成小于1nm的颗粒。

参数：

仪器尺寸 ：主机  300mm×360mm×380mm（W×D×H）

               蒸镀  300mm×360mm×160mm（W×D×H）

真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm（D×H）

靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

溅射靶材：Au

溅射靶材大小：φ50mm

样品台：样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，样品台可调节高度。也可根据                        自身要求定制样品台

溅射工作电压：0-1600V (DC)可调

溅射电流：0-50mA

溅射定时：0-360S

蒸碳电流  0-100A(AC)

蒸发材料：碳纤维 

蒸发工作电压：0-30V

蒸发时间：0-1S微型真空气阀：可连接φ3mm软管

可通入气体： 多种

        输入电压：220V(可做110V),50HZ

真空泵：  2升机械旋转泵（国产VRD-8）

特点：

1、简单、经济、可靠、外观精美。

2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。

3、SETPLASMA手动启动按钮可预先设置好压强和溅射电流避免对膜造成不必要的损伤。

4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。

5、同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、铱、银、铜等），以达到更细颗粒的涂层。

6、碳纤维绳更加细腻均匀、快速，更有利于分析材料结构